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中微公司（688012）研究报告：本土刻蚀设备中流砥柱，多线布局助力国产替代。国产刻蚀设备龙头企业，产品覆盖海外一线大厂及国内头部厂商。中微成立 于 2004 年，公司核心高管及技术人员多数具有国际半导体大厂从业经 验，CEO 尹志尧博士是近 300 项海内外专利的主要发明人。公司主营等 离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备以及空气净化设备，产品覆盖了半导体 集成电路制造、先进封装、LED 生产、MEMS 制造等领域。公司 2022 年 全年预计实现营收 47.4 亿元，同比增长 52.5%，实现归母净利润区间为 11.70 亿元，同比增长 15.66%；实现扣非归母净利润 9.19 亿元，同比 增长 183.44%。

刻蚀机业务高速发展，CCP 市占率不断提升，ICP 设备快速放量。公司 CCP 设备性能先进，在国产设备中处于绝对领先地位，已切入国际知名厂商 5nm 产线，国内市场份额持续提升，2022 年公司已累计有 2320 个反应台在生产 线运转；ICP 设备 2022 年上半年收入 4.13 亿元，同比增长 414.08%，截至 2022 年 6 月底，ICP Nanova 设备已经顺利交付超过 220 台反应腔，在客户 端完成验证的应用数量也在持续增加。截至 2022 年中，本土刻蚀设备国产 化率约两成，中美贸易摩擦持续刺激国产设备的需求，公司作为国产刻蚀设 备龙头有望持续受益。

MOCVD 设备保持领先地位，LPCVD、EPI、ALD 有望成为业绩新增长点。公司 MOCVD 在 Mini-LED 中的蓝绿光生产线取得绝对领先地位，针对 Micro-LED 的 新品设备也在积极研发，布局于金属钨填充的 LPCVD 设备、锗硅外延生长的 Epi 设备和原子层沉积的 ALD 设备研发顺利，部分已经进入样机制造和调试 阶段，预计将于 23 年陆续推出，有望成为公司新的业务成长点。

投资布局量测设备，有望成为国产替代新军主力。量测设备贯穿整个晶圆制 造环节，设备价值约占产线价值的 13%，也是前道国产化率最低的环节之一， 截至 2022 年国产化率仅约 1%。KLA 的退出提高了国产量测设备环节的重要 性，国产量测设备有望进入国产替代加速期，中微 22 年对睿励仪器追加 1.08 亿元现金投资，持股比例从 20.4%变更为 29.4%，持续投资布局工艺检测设 备领域，有望成为国产量测设备主力，同时与制造设备形成良性协同作用。