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半导体设备行业深度报告：把握半导体设备国产化大周期。半导体设备在高端领域被美欧日垄断，是当前及未来国产化重点突破的领域。半 导体设备在高端领域处于美欧日垄断状态，“卡脖子”问题突出，是当前及未来 国产化重点突破的领域。随着国家扶持力度的不断加大，制造企业与国产设备企 业的合作意愿较强，国产化进度加快，半导体设备是未来长周期必选的优质赛道。

中国大陆半导体设备销售额全球占比有望从 2021 年的 28%提升到 2023 年的 32%，呈逐年上升的趋势。2020 年中国大陆半导体设备销售额为 187.2 亿美元， 同比增长39.2%，占全球半导体设备市场的 26.3%，首次成为全球最大的半导体 设备市场。我们预计中国大陆半导体设备销售额全球占比有望从 2021 年的 28% 提升到 2023 年的 32%，由此测算，2021-2023 年中国大陆半导体设备销售额预 计将达到 287.8/343.0/362.9 亿美元，同比增长 53.7%/19.2%/5.8%。

头部三家纯晶圆代工厂资本开支 2019-2022 年持续上行，2022 年半导体设备行 业尚在景气周期之内。据 IC Insights 统计，三大纯晶圆代工厂 TSMC、UMC 和 GlobalFoundries，2019-2022 年的资本支出分别为 149.37/172.4/300.43/420 亿美元、5.66/9.52/17.55/30 亿美元和 7.73/5.92/17.66/45 亿美元，近三年均呈 现快速增长态势，2022 年半导体设备行业尚在景气周期之内。

半导体设备行业投资建议：我们持续看好半导体设备国产替代的大趋势，重点推 荐：（1）北方华创：品类最齐全的国产半导体设备龙头，国产化受益最大标的； （2）中微公司：国内半导体介质刻蚀设备龙头，CCP 刻蚀机市场份额不断提升， ICP 刻蚀机和薄膜沉积设备进展迅速，内生外延技术实力雄厚；（3）盛美上海： 国内半导体清洗设备平台型龙头，积极布局镀铜、炉管、抛铜等设备，品类持续 扩展中；（4）至纯科技：国内半导体清洗设备领军企业，单片湿法设备持续放量， 有望成为高端湿法设备的领先者；（5）万业企业：国内半导体离子注入机龙头， 离子注入机持续放量，嘉芯半导体和肯发有望进一步增厚业绩，平台型设备公司 雏形已现；（6）芯源微：国内半导体涂胶显影设备龙头，物理清洗设备已实现国 产替代；（7）华峰测控：半导体后道模拟及数模测试机龙头，积极布局功率器件 测试机、海外市场和 SoC 类测试机；（8）光力科技：崛起中的国产半导体后道 划片机龙头，上下游布局完整，技术实力全球领先；（9）精测电子：半导体前后 道、面板和新能源三大检测业务协同发展。建议关注：拓荆科技、长川科技、华 兴源创、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASM Pacific（H）。