微导纳米-688147-ALD技术持续突破，半导体业务进入加速期.pdf

全球半导体制造向先进节点及三维结构演进，对薄膜沉积工艺的精度与共形性提出严苛要求，原子层沉积（ALD）技术因此成为关键突破口。微导纳米作为国内ALD设备领军企业，正依托技术积累加速向半导体综合薄膜沉积平台转型，其半导体业务已进入加速成长期。

业务转型与财务表现

微导纳米早期以光伏ALD设备起家，随后成功将技术延伸至半导体领域。2025年，尽管受光伏行业周期调整影响，公司整体营收略有下滑，但半导体设备收入实现爆发式增长，同比增幅显著，收入占比大幅提升。半导体在手订单持续创新高，截至2024年末已达15.05亿元，显示出强劲的市场需求。虽然短期因产品结构变化、新增产能折旧及高研发投入导致毛利率和净利润承压，但随着半导体业务规模效应释放及高毛利产品占比提升，盈利能力有望逐步修复。

技术突破与产品矩阵

公司在半导体薄膜沉积领域已形成ALD+CVD的双轮驱动格局。ALD方面，量产型High-k ALD设备已导入多家国产领先厂商前道产线，金属化、批量式及空间型ALD设备也相继实现产业化或验证。CVD方面，硬掩模PECVD设备获得量产批量订单，LPCVD关键工艺取得客户重复订单。产品覆盖逻辑、存储、先进封装等多个领域，能够满足先进制程对高深宽比结构薄膜沉积的需求。

市场机遇与产能扩张

随着逻辑芯片向GAA结构演进、存储芯片堆叠层数增加以及HBM等新型存储技术的发展，ALD及CVD设备需求持续增长。国内晶圆厂扩产为公司提供了广阔的市场空间。公司通过IPO及可转债募投项目，大幅增加半导体薄膜沉积设备产能，技术路线由单一ALD拓展至ALD+CVD，为未来订单交付和业务增长奠定坚实基础。预计未来几年，半导体设备将成为公司第一大收入来源，驱动公司业绩持续向上。