半导体行业AMHS：晶圆厂自动物料传送系统，国产替代从0到1进入破局期.pdf

研究背景与目的

本报告聚焦半导体晶圆厂自动物料传送系统（AMHS），分析其行业壁垒、需求驱动、竞争格局及国产替代路径，为投资者提供AMHS产业链的价值判断框架。

核心内容

AMHS是晶圆厂自动化的"物流神经系统"，核心价值在于整厂级软硬件系统稳定交付能力。系统包括传送设备、存储设备、净化设备和软件系统四大类，典型12英寸中大型晶圆厂需数百台天车、数十台大型存储设备、上万台空中缓存单元及MCS调度软件。

需求端受三重驱动：晶圆厂扩产、12英寸化和国产替代。2025年全球AMHS市场规模约40.53亿美元，中国大陆约14.79亿美元（约105.65亿元人民币）。中国大陆2025-2027年预计占全球WFE市场约30%份额，至2028年全球规划新建108座晶圆厂，其中中国大陆47座。

竞争格局呈全球双寡头垄断，日本大福集团和村田机械合计份额约90%。国产厂商正从单点设备验证迈向整厂交付突破，弥费科技、海晨股份（海盟科技）、果纳半导体为代表企业。

核心结论

国产AMHS替代呈阶梯式推进：单点设备导入→中小型晶圆厂整厂交付→大型12英寸区域线验证→大型12英寸整厂替代。投资主线聚焦价值量提升、系统级国产替代和软件调度能力，重点跟踪大型12英寸验证、订单放量与毛利率修复。