半导体检测设备行业专题报告：从KLA成长路径看国产替代进程.pdf
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- 时间：2021/09/12
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半导体量检测设备又称过程工艺控制设备，主要对生产步骤的良率进 行严格控制，几乎贯穿每一道生产步骤。其中半导体量测设备主要功 能是对经过每一道工艺的晶圆进行定量测量，以保证工艺的关键物理 参数满足工艺指标，如膜厚、关键尺寸(CD)、膜应力、折射率、参 杂浓度、套准精度等;半导体检测设备主要用于检测晶圆上的物理缺 陷(称为颗粒的异物)和图案缺陷，其细分品类可以分为明/暗场检测 设备、电子束检测、光罩检测设备等。
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