中微公司专题研究:刻蚀+MOCVD龙头,内生外延协同打造设备平台.pdf

  • 上传者:潘*
  • 时间:2021/07/02
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刻蚀十 MOCVD龙头,技术驱动行业领先。中微公司成立于2004年,主营业务为开发大型真空徽观器件工芑设备,主要产品包括刻蚀设备和MOCD,公司CCP刻蚀设备已批量应用于国内外一线客户从65mm到5mm集成电路制造产线、64层及128层3 D NAND产线,并已取得5m及以下逻辑电路产线的重复订单;ICP刻蚀设备逐步成熟,已成功进入海内外十余家客户的晶圆产线,公司 MOCVD设备持续在行业领先客户生产线上大规模投入量产,保持在行业内的领先地位
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