晶盛机电推出的五代单晶炉各有什么特点?

晶盛机电推出的五代单晶炉各有什么特点?

最佳答案 匿名用户编辑于2022/11/25 16:24

我来简单回答一下,如果你想进一步了解的话,可以查看报告《晶盛机电(300316)研究报告:泛半导体平台型公司,设备+材料双驱动》,下面的内容也出自该报告。

公司自成立以来不断进行技术和产品升级,推动先进晶体硅生长技术和设备的本土化发展进程,持续 引领行业技术创新;截至目前公司已推出四代单晶炉产品,第五代单晶炉也将于 2023 年上市。

①第一代:全自动单晶炉。2007 年公司成功研制出国内首台全自动直拉式单晶硅生长炉(TDR80A-ZJS 型)并实现销售,突破了高端单晶硅生长炉设备长期被国外大型企业垄断的产业格局;2008 年公司成功研 制出国内规格最大的全自动直拉式单晶硅生长炉(TDR120A-ZJS 型),结束了国内 12 英寸大规格单晶硅生 长炉设备依赖国外进口的局面;

②第二代:应用高拉速-超级水冷套技术的单晶炉。2009 年公司研制出应用水冷夹套技术的 TDR95A-ZJS 型单晶硅生长炉,根据中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会出具的《科学技术成果鉴定证 书》,该产品能够提高晶体生长速度 30%,缩短拉晶周期约 15%,降低拉晶单位能耗 20%左右,产品性能 突出。

③第三代:配置复投拉晶+大热场技术的高产单晶炉。2013 年公司成功研发出复投器+大热场技术,开 创第三代 RCZ 高产单晶炉。

④第四代:智能化单晶炉。2017 年公司研发出基于工业互联网的第四代智能化单晶炉,突出单晶炉的 自动化、智能化技术。

⑤第五代:基于开放平台架构的单晶炉。公司将于 2023 年推出第五代新型单晶炉,除了具有更强大 的硬件配置外,第五代单晶炉还配置了基于开放架构的用户可编程的软件定义工艺平台,提供可自行构建 工艺时序、控制逻辑、核心算法的自主创新条件,可以为客户差异化竞争提供新的解决方案。

参考报告

晶盛机电(300316)研究报告:泛半导体平台型公司,设备+材料双驱动.pdf

晶盛机电(300316)研究报告:泛半导体平台型公司,设备+材料双驱动。①晶盛机电在泛半导体领域平台化布局。公司围绕硅、碳化硅、蓝宝石三大主要半导体材料,针对“长晶、切片、抛光、外延”四大核心环节进行设备研发,并适度延伸到材料领域。②公司技术实力突出。在晶体生长领域,公司具有直拉法、区熔法单晶生长技术,对晶体生长有着深入的理解与沉淀;公司生产的单晶炉打破了海外企业垄断的市场格局,在光伏单晶炉领域保持市占率第一,具有较强的产品竞争力,公司将于2023年推出基于开放平台架构的第五代新型单晶炉。此外,公司硅片加工设备竞争力不断增强,产品附加值不断提升。③受益于光伏行业发展,公...

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