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MEMS惯导行业深度研究报告：应用空间潜力巨大，快速发展正当其时。惯性导航技术是在各种复杂环境条件下自主建立运动载体的方位、姿态基准 的唯一有效手段，但也有导航误差会随时间积累，且成本相对较高的缺点。惯 性导航系统一般由陀螺仪和加速度计两种惯性仪表组合而成。

MEMS（Micro Electro-Mechanical System，微机电系统）是精细加工的一种， 它是建立在微米/纳米技术基础上的 21 世纪前沿技术，也被称为微系统、微机 器或微机械等。MEMS 陀螺仪、加速度计即是采用 MEMS 技术生产的陀螺仪 与加速度计。

相比于传统惯性仪表，MEMS 惯性仪表具有体积小、重量轻、功耗低、成本 低、可靠性高、测量范围大等优点，特别适合应用于军事领域。

已在军事领域使用的 MEMS 惯性仪表包括 Litton SiACTM 硅微加速度计、RBA 500 石英振梁加速度计、SiIMU、HG1930 IMU 等，具体应用领域包含“克莱门 汀”月球探测器、AGM-142 空地导弹、BQM-74E 亚声速靶机、“兰天”机载吊 舱式光电系统、“全球鹰”无人机、“先进中距空空导弹”、MK-48 鱼雷、CH-46 直升机、MB339 教练机、GMLRS 火箭弹、GMLRS ATD（先进技术演示项目）、 小直径制导炸弹（SDB）、联合直接攻击弹药（JDAM）、增程制导弹药（ERGM， Extended Range Guided Munition）和雷神亚瑟王神剑制导炮弹等。

精度是决定 MEMS 惯性仪表在军事领域可用范围的主要指标之一。按 2011 年的精度状态，MEMS 陀螺仪可以应用于灵巧弹药、机器人、战术导弹、鱼 雷等，MEMS 加速度计不仅可以应用于一般的战术导弹，更是可以应用于巡 航弹、潜艇等长航时武器。针对导弹领域，按 2011 年的精度状态，MEMS 加 速度计可以满足绝大部分导弹的使用需要，而 MEMS 陀螺仪仅能满足空空、 地空和部分空地导弹的需要，尚不能满足地地以及远程导弹的需要。

美国 Draper 实验室预测，低精度战术武器市场将由 MEMS 惯性仪表占领。 MEMS 惯性仪表比较有潜力的军事应用领域包括常规武器制导化、在战术武 器领域的推广应用以及拓展微小卫星应用等。

从 1995 年开始，美国国防高级研究项目局（DARPA）资助了一系列旨在演示 验证 MEMS 惯导应用于武器制导领域的项目。经过一系列项目的实施，美军 首先验证了 MEMS 惯导可以很好地应用于高过载炮射环境中，之后研制出了 可替代 HG1700 型激光陀螺惯导的 MEMS 惯导产品，接着又开始着手研制可 满足 90%战术级武器需要的 MEMS 惯导产品，2016 年开展可满足导航级武 器需要的 MEMS 惯导产品的研制，最近在开展旨在进一步提高 MEMS 惯导 精度的研究。