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华海清科研究报告：国产CMP设备小巨人，平台化布局开启新征程。国内 12 寸 CMP 设备龙头企业，盈利能力行业领先。公司成功实现 12 寸 CMP 设备产业化，CMP 设备覆盖 14nm 以上逻辑芯片、128 层 3D NAND 和 1x、1y nm DRAM 芯片，下游客户覆盖长江存储、英特尔（大连）、厦门 联芯、中芯国际及长鑫存储等国内外知名企业。凭借高阶 CMP 设备的绝对 优势，公司盈利能力突出，业绩持续高增。

全球 CMP 设备市场规模增长动力强。随着：1）国内中高端工艺制程推进， 产能扩张；2）本土逻辑/存储厂商产能加速落地，国产设备加速替代；3）器 件线宽缩小和结构立体化，CMP 设备市场有望快速增长。公司在国内市占 率不断攀升，后续有望凭技术和品牌优势充分参与全球竞争；目前本土高端 设备自给率较低，国产替代空间广阔，看好长期公司中高端设备渗透率扩大。

拓展湿法设备、减薄设备、膜厚测量设备等诸多半导体设备品类，耗材维保 业务有望成为第二增长极。公司在 CMP 设备领域技术积淀深厚，逐步推出 湿法清洗设备、减薄设备及膜厚测量设备，市场覆盖空间逐渐打开，且 CMP 设备使用耗材较多，核心部件需定期维保更新，随着工艺制程推进、公司 CMP 设备放量、减薄抛光一体机加速导入，耗材维保服务将迎量价齐升。 晶圆再生服务产生业务协同增加公司业绩弹性。随国内晶圆产能持续落地、 制程逐步向 28nm 以下工艺推进叠加上游硅片持续涨价，晶圆再生业务需求 持续加强，国内厂商均处于导入初期，中短期难以满足国内需求，公司凭借 CMP 工艺优势切入晶圆再生业务，长期看好业务发展。