华海清科（688120）研究报告：国产CMP设备龙头持续拓展新业务.pdf

华海清科（688120）研究报告：国产CMP设备龙头持续拓展新业务。华海清科成立于 2013 年，是国内唯一一家能够量产 CMP（Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光）设备的上市公司，公司目前产品能 够覆盖 12 寸及 8 寸产线，最高工艺节点可支持到 28nm，并已切入中芯国 际、长江存储、华虹集团等国内头部企业。根据我们测算，公司 2021 年在 国内 CMP 市场中份额达到 16.1%，随着公司 300 系列的大规模放量，我们 预计远期公司份额有望超过 50.0%。我们预计公司 2022-24 年收入为 16.7/26.4/37.1 亿元，归母净利润为 4.5/6.9/9.3 亿元，首次覆盖给予买入评 级，目标价 298.3 元，基于 12.1x 2023 年 PS。

行业：市场空间相对偏小，核心难点在于晶圆的平整度

相对薄膜沉积等设备，CMP 在半导体前道设备中占比较低，仅为 3%，预 计 2022 年全球 CMP 市场规模达到 31.9 亿美元，中国市场空间在 9.5 亿美 元。CMP 设备随着工艺节点的演进层数也会有显著提升，例如 90nm 一般 会用到 12 层，而 14nm 需要 20 层以上。CMP 设备的核心在于抛光模块、 工艺控制模块等，目前 AMAT 联合日本荏原合计占据了全球 90%以上的市 场空间。公司具有自研的直驱技术，目前部分性能已与海外厂商接近。受全 球通货膨胀及经济不确定性影响，全球半导体市场景气持续下行，我们预计 2023 年中国半导体制造企业资本开支将同比倒退 31.5%，但我们看好国产 化推动下中国半导体设备行业持续增长。

四大核心竞争优势提供公司长期增长动能

我们认为华海清科的核心竞争力主要在于 1）打破美日垄断，为国内领先 12 英寸 CMP 设备制造商，公司是国内唯一一家能够量产 CMP 的上市公司， 且 2021 年在国内份额已经达到 16.1%；2）经验丰富的研发团队，董事及 核心技术人员均为清华学者，且不同于海外厂商的皮带传送方案，公司具有 自研的直驱技术；3）深度绑定长江存储、华虹集团和中芯国际等龙头厂商； 4）公司依托 CMP 设备能力，在 CMP 环节纵深发展，提供耗材及技术服 务、晶圆再生服务，并拓展了减薄抛光一体化设备新产品。