光刻技术的发展研究.pdf
- 上传者：G******
- 时间：2019/10/28
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利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光， 光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上得图形转印到基片上。光刻过程类似照相原理，照相机将像印在底片上，而光刻“印制” 的是微小结构图案。
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