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TOPCon电池技术路线调研

• 提问时间：2022/09/05
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• 提问者：匿名用户

[2个回答]这个我知道，答案都来自报告《光伏行业高效太阳能电池专题报告：平价时代效率为王，新技术迭代大势所趋》，如果有兴趣了解更多相关的内容，请下载原报告阅读。1）本征+磷扩。采用LPCVD制备多晶硅薄层并结合传统的全扩散工艺。需要较PERC增加LPCVD、扩散炉、刻蚀设备，工艺优点是成熟且耗时短（从硅片进入炉管到降温之后出来），生产效率高，已实现规模化量产，但存在绕镀和成膜速度慢的问题，目前TOPCon厂商布局的主流路线。2）离子注入（直接掺杂）。采用LPCVD制备多晶硅薄层并结合扩硼及离子注入磷工艺。需要较PERC增加LPCVD、离子注入机、退火炉、刻蚀设备，技术优点是无绕镀风险，且良率更高，不足之处...