盛剑科技经营看点在哪？

聚焦半导体，产能利用率与良率驱动行业需求。

聚焦半导体行业，新增订单额快速增长。随着公司技术研发不断推进和产品体系不断 完善，行业关键客户及订单实现新突破。23 全年公司新签订单总额达 27.9 亿元，同 比+76%；其中在集成电路板块新签订单实现快速增长、新签订单 20.5 亿元，同比+109%。

突破国内重点客户。公司的主要下游行业为集成电路、半导体显示等半导体产业领域 以及新能源领域的业内领军企业，与京东方、华星光电、天马微电子、维信诺、中电 熊猫、信利光电、惠科光电、中电系统等业内领军企业保持长期合作关系。

抓住下游 CAPEX 向上机遇。传统行业 CAPEX 接近尾声或已入去产能周期，半导体行业 CAPEX 迎高峰。行业内可比公司如同兴环保、雪浪环境、青达环保、仕净科技分别在 钢铁领域、垃圾焚烧领域、火电领域、光伏领域成为行业内龙头，解决烟气治理问题。 从下游行业增速看，钢铁已长期处于去产能阶段；垃圾焚烧作为替代填埋的更环保选 项、在主要城镇覆盖率已达较高水平。火电行业受新型电力系统建设影响，在“十三 五”去产能后近两年重新出现 CAPEX 高峰。相比之下，集成电路、半导体显示等行业 CAPEX 处于上行阶段，光伏行业 CAPEX 过去两年快速增长、今年有所放缓。

行业 CAPEX 情况直接影响可比公司利润体量及盈利能力。行业缺乏持续增长动力，带 来了同兴环保、雪浪环境两家可比公司的收入/利润体量下滑，行业内卷现象加剧带 来毛利率水平下降。往后看，相关企业主业修复依靠环保政策升级加码，同时积极开 展 CCUS 等第二增长曲线自救。

如前所述半导体行业正步入 CAPEX 高峰期，同时我们更看好该行业由先进制程/良率 驱动下的“自下而上”成长。盛剑的主要下游为光电显示、集成电路、光伏、PCB 等 半导体行业。对半导体工厂而言，工艺废气治理系统及设备是其生产工艺不可分割的 组成部分，工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，其安全稳定性直接 关系到产能利用率、产品良率。

影响产能利用率：半导体生产工艺是高度自动化的连续工序，大部分环节对工艺设备 的排气压力存在较高要求。当工艺废气治理系统发生故障，未能同步对工艺废气进行 收集、治理和排放时，会导致连续工序中断，直接影响客户产线的稳定运行，从而影 响产能利用率。

影响产品良率：半导体生产工艺精密度极高，对生产环境的洁净度要求严格，生产过程均在高等级洁净室内进行。工艺废气自工艺设备进入工艺排气管道后，如因工艺废 气治理系统故障导致负压不稳定，或者工艺排气管道泄漏，致使洁净室内空气环境改 变，可能导致产品良率下降乃至报废。

与可比公司相比，半导体行业烟气治理毛利率水平相对更稳定，近两年超过传统非电 行业。

以 L/S 设备为首，拓展更高附加值的装备业务。公司在处理半导体制程产生的组分复 杂、特性不一的工艺废气时，难点在于先分析工艺废气特性并根据该等气体的特性， 在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方案，在处理一些包括剧毒、 自燃、易爆等特殊废气时，则要综合应用中央治理和源头控制技术，即先在生产区域 配置适合气体特性的就地处理设备进行预处理，之后再排入中央治理系统进行集中处 理。随着江苏盛剑研发制造基地建成投产，公司 L/S 单体治理设备研制成功并取得订 单，标志着公司业务从中央治理端拓展至源头控制端，具备了半导体工艺废气全面系 统解决能力。

设备毛利率高于系统；江苏盛剑厂房建成、设备制造能力大幅提升。不同于系统类产 品，设备类产品随着更先进的制成工艺出现，需要不断迭代升级，具有更高的技术壁 垒。因此，设备类业务毛利率高出系统类业务约 10%。22 年受下游需求波动影响产销 率有所下降，23 年回升至 87.4%。

在机型开发升级、制程工艺突破、应用领域延伸等方面，公司不断提升半导体废气处 理设备 L/S 竞争优势。完成等离子+水洗双腔机型的研发验证，并取得集成电路头部 客户 Etch 制程的测试订单。通过技术创新，将等离子+水洗机型应用于控制 NOx，可 以使 NOx 的排放能力控制在 50mg/m³内；在国际高难度制程的常压 EPI 领域，完成国 内首台套水洗+燃烧+水洗机型设备厂内性能验证，获得 SEMI 认证，并斩获某集成电 路头部客户的测试订单；积极探索在新能源领域的应用，针对 TOPCon 电池粉尘堵塞 PM 周期短等痛点，结合 PE-Poly 工艺高 SiH4 和 H2 的特点，定向研发的 PW3000 机型 能够显著提升客户的生产稼动率，并取得订单；PW3000 机型在国内龙头光伏企业 HJT 电池相关研发线开展测试，性能反馈优异。

在半导体核心零部件业务方面，公司完成了真空设备 2 款机型的研发测试，其中 1 款机型在新能源领域某头部客户 PE-Poly 制程验证测试，同时实现集成电路领域维保 服务订单突破。

21 年募投项目重点投于附属装备制造。21 年公司 IPO 募资 55,958.87 万元用于新增 制造产能、研发中心和运营中心的建设。其中 12,528.27 万元用于由江苏盛剑实施的 环保装备智能制造项目，重点建设附属装备产能，主要产品包括半导体工艺设备 PFCS 污染物处理装置（L/S）、半导体洁净室 EHS 处理装置（LOC-VOC）、VOC 超净排放处理 装置、工艺排气管道等。

进军湿电子化学品，发挥客户协同优势。2017 年，公司设立子公司北京盛科达，专注于湿电子化学品供应与回收再生系统服 务，进一步挖掘半导体行业客户需求，通过产品升级迭代进一步巩固行业竞争优势， 实现产业价值链纵向延伸。2018 年起，公司前期在该领域的布局初见成效，陆续参 与、承接了京东方 B11、京东方 B17、合肥奕斯伟和深南电路等项目。

湿电子化学品供应与回收再生是两个相关联的化学品系统。前者主要作用是将化学品 从化学品原材料供应商提供的盛装容器中，输送到使用化学品的工艺设备入口，并根 据需要进行加压、纯化、多组分调配及计量等；后者主要作用是将废化学品收集后， 根据需要进行外运处置或者在厂内就行提纯再生，调配单组分、添加剂达到原液标准 后循环使用。

在此基础上，引进光刻胶剥离液和蚀刻液技术，进行相关电子材料的研发、制备工作。 主要规划产品聚焦于剥离液、蚀刻液、清洗液等。下游应用领域包括集成电路、半导 体显示等，主要用于显影、蚀刻、清洗等制造工艺。