射频电源成本占比及市场格局如何？

射频电源成本占比显著，全球市场空间不俗。

半导体设备上游零部件品类众多，射频电源与匹配器作为等离子体发生配套电源， 是刻蚀设备、PECVD 设备等多种半导体工艺设备的核心零部件之一，且成本占比 较为明显。据富创精密招股书整理，电气类零部件（其中最为核心的产品之一便 是射频电源系统）在半导体设备上游零部件市场中的占比约在 10-20%之间。

更具体地，以 PECVD 设备为例，据拓荆科技招股书披露，射频电源及匹配器所 在的电气类原材料采购金额占公司采购总额的比例平均约 25%左右；而屹唐股份 （主要产品为干法去胶设备、热处理设备和刻蚀设备）和中微公司（主要产品为 刻蚀设备和 MOCVD 设备）电气类原材料采购金额分别占约 20%和 15%左右。 即使考虑到不同半导体设备上游原材料采购结构有差别，以及电气类原材料还包 括远程等离子源、IO 模块、工业电脑等产品，但射频电源及匹配器作为电气类中 最核心的部分之一，推测其占有较大金额比重，结合产业实际情况，我们假设其 成本占比为 15%。

而从射频电源的主要应用来看，据中微公司2022年年报整理，2022 年全球刻蚀 设备市场规模约230亿美元，结合厂商平均约 45%的毛利率水平、营业成本中约 90%的直接材料占比、原材料中射频电源 15%的成本占比，对应射频电源采购额 估测在17 亿美元以上；类似地，PECVD设备用射频电源市场规模估测约5.6亿 美元；再加上射频溅射、干法去胶、PEALD、等离子体扩散等应用，预计全球半 导体设备用射频电源市场规模在 25-30 亿美元。

另外，根据 Advanced Energy 和 Comet 官网资料整理，2019 年约 640 亿美元的全 球半导体设备市场规模对应射频电源市场规模约 12 亿美元。而随着半导体设备规 模成长至近千亿美元，同时随着制程节点不断推进，刻蚀设备和薄膜沉积设备占 比有所上升，单台设备对于射频电源的用量和价值量也有提升，因此射频电源占 全球半导体设备市场规模的比例也呈整体提升态势，2022 年的市场规模也随之进 一步提升达到了约 21 亿美元。 因此，虽然不同公司和机构口径略有差异，但结合不同数据来源和测算方式来看， 我们估测 2022 年全球半导体设备用射频电源系统市场规模在 20-30 亿美元之间， 且据 Comet 整理预测，2021-2025 年射频电源系统市场规模有望实现约 10.3%的 较快复合增速。

正如前文所述，射频电源系统要想达到高功率、高效率，其内部电路和结构设计 都需要厂商有较深的技术积累。且想要满足下游客户实际量产应用需求的话，更 是对于频率精度、响应时间、匹配精度、匹配时间有着极高的要求，需要厂商有 丰富的技术和经验积累，并配合客户共同不断调试。此外，制程节点不断演进也 衍生出脉冲输出、多频射频等高端需求，后进入者难以一蹴而就。 因此，全球射频电源市场主要由积累深厚的海外厂商主导，且格局较为集中。目 前全球主要参与者包括 MKS（美国）、Advanced Energy（美国）、Comet（瑞士）、 DAIHEN（日本）、Trumpf（德国），尤其是两家美国厂商 MKS 和 AE 垄断明显， 占据了主要的市场份额。

MKS 公司官网根据 VLSI research 统计的数据进行整理称，通过在之前五年对射 频电源业务的大量投资，MKS公司在2020年实现了在该领域近10%的份额提升， 基本上和 AE 并列市场份额第一。而 2021 年 MKS 公司份额仍略有提升，成为了 射频电源市场领导者。 而 AE 则在过去数年一直都是射频电源领域的龙头厂商，份额基本稳居前二。据 其 2022 年报披露，AE 公司在半导体设备领域收入为 9.3 亿美元，若按照全球 21 亿美元的市场规模测算，则其市占率约 44%，即使考虑到 AE 该领域收入还有部 分来自于 DC 电源等产品，估测其份额也显著较高，而 MKS 跟 AE 市占率相仿甚 至略高，因此两家厂商便占据了极高的市场份额，行业垄断现象明显。