射频电源行业专题分析：刻蚀&PECVD设备核心零部件，国产替代迫在眉睫.pdf

射频电源行业专题分析：刻蚀&PECVD设备核心零部件，国产替代迫在眉睫。射频电源为刻蚀等工艺设备核心零部件之一，技术壁垒较高。射频电源作为 用来产生等离子体的高频交变电源，广泛应用于刻蚀、PECVD、等离子体清 洗/去胶、射频溅射、PEALD 等半导体制造设备。射频电源极大程度上决定了 产生离子的浓度、均匀度、稳定性，是刻蚀等工艺设备的核心零部件之一，需 要满足高功率、高效率、精准的频率控制精度、较短的匹配时间等要求，技术 壁垒较高，且随着制程演进对射频电源的要求也仍在不断提高。

射频电源在半导体设备中成本占比显著，美系厂商垄断。射频电源是刻蚀设 备、PECVD 设备等工艺设备的核心零部件之一，在采购成本中占比显著，2022 年全球市场规模估测约在 20-30 亿美元。射频电源行业主要由积累深厚的海 外龙头主导，尤其是美国的 MKS 和 AE 两家厂商垄断市场，国产厂商此前技 术能力和下游土壤都较为欠缺，因此市占率极低。

国产设备长期空间巨大，零部件市场有望随之快速成长。国内晶圆厂持续扩 产，中芯国际成熟制程产能规划巨大，且扩产的意志和决心坚定，预计未来两 三年扩产幅度和资本开支都较为积极；存储厂虽然部分厂商由于美国限制而 影响短期扩产，但中长期产能提升的空间和意志不改。在当前半导体产业各 地区脱钩趋势下，国内晶圆厂存储厂扩产空间巨大，且自主可控重要性愈发 凸显，设备国产化比例有望快速提升，因此本土设备厂商面临的长期国产化 空间显著，而上游零部件市场也将随之快速成长。

射频电源国产替代迫在眉睫，优质厂商有望迎来突破放量。当前中美贸易摩 擦加剧趋势下，半导体设备上游的零部件环节的供应稳定性也在逐渐面临越 来越大的风险，因此设备厂商对于零部件自主可控的紧迫性也愈发凸显，尤 其是射频电源这种国内厂商此前突破较少、卡脖子情况严重的环节，随时面 临美系厂商断供风险，因此设备厂商对于国产供应商的导入尤为急切。国内 以英杰电气为代表的部分优质供应商经过多年积累，以及在近两年下游客户 快速增强的意愿和积极的配合之下，逐渐取得了良好的进展，部分产品在客 户端验证已取得很好的结果，有望迎来订单和销售的突破和放量。