-
射频电源原理、结构、技术难点、应用、产业链及市场规模如何？
- 提问时间：2024/04/18
- 浏览量：600
- 提问者：匿名用户
[1个回答]射频电源原理、结构、技术难点、应用、产业链及市场规模如何？
标签： 射频电源 -
射频电源成本占比及市场格局如何？
- 提问时间：2023/10/25
- 浏览量：498
- 提问者：匿名用户
[1个回答]射频电源成本占比显著，全球市场空间不俗。半导体设备上游零部件品类众多，射频电源与匹配器作为等离子体发生配套电源，是刻蚀设备、PECVD设备等多种半导体工艺设备的核心零部件之一，且成本占比较为明显。据富创精密招股书整理，电气类零部件（其中最为核心的产品之一便是射频电源系统）在半导体设备上游零部件市场中的占比约在10-20%之间。更具体地，以PECVD设备为例，据拓荆科技招股书披露，射频电源及匹配器所在的电气类原材料采购金额占公司采购总额的比例平均约25%左右；而屹唐股份（主要产品为干法去胶设备、热处理设备和刻蚀设备）和中微公司（主要产品为刻蚀设备和MOCVD设备）电气类原材料采购金额分别占约20...
标签： 射频电源 -
射频电源组成部分及技术壁垒体现在哪？
- 提问时间：2023/10/25
- 浏览量：316
- 提问者：匿名用户
[1个回答]射频电源持续演进发展，技术壁垒高筑。射频电源主要由射频信号源、射频功率放大模块、阻抗匹配网络等部分组成：射频信号源包含直流供电模块、振荡电路模块等，分别起到供电、输出固定频率的射频信号作用。其输出的射频信号直接决定整个系统能否稳定的工作，若输出的射频信号断断续续或起伏不定，则负载得到的射频信号往往也是不理想的信号，从而影响整个系统的性能。射频功放模块则起到关键的信号驱动和功率放大的作用，是射频电源最核心的模块，是射频电源能否实现高功率的关键之一。阻抗匹配网络则是为了信号/能量有效地从信号源传送到负载端，主要是通过阻抗调整，使负载阻抗与射频源内部阻抗互相适配，以最大限度地减小射频的反射损耗，使输...
标签： 射频电源 -
射频电源的应用情况如何？
- 提问时间：2023/08/14
- 浏览量：692
- 提问者：匿名用户
[1个回答]等离子体化学性质存在差异，可用于多种晶圆制造工艺。1、射频电源在PECVD中的应用相比传统的CVD设备，PECVD设备在相对较低的反应温度下形成高致密度、高性能薄膜，不破坏已有薄膜和已形成的底层电路，实现更快的薄膜沉积速度，是芯片制造薄膜沉积工艺中运用最广泛的设备种类。该技术在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上产生辉光放电，并利用辉光放电使晶圆升温到预定温度。然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在晶圆表面形成固态薄膜。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至晶圆表面，在射频电源激发的电场作用下分解成电子、离子和活性基团等。具体而言：PECVD...
标签： 射频电源
快速提问
海量报告支持，行业专家解读
海量文库支持，行业专家解答
-
1
沃巴查芒
68次解答 -
2
每日新报
61次解答 -
3
StartYourFinance
57次解答 -
4
999感冒灵
55次解答 -
5
王中王
1次解答
