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射频电源行业专题分析：刻蚀&PECVD设备核心零部件，国产替代迫在眉睫.pdf

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• 2023/04/11
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• 兴业证券

射频电源行业专题分析：刻蚀&PECVD设备核心零部件，国产替代迫在眉睫。射频电源为刻蚀等工艺设备核心零部件之一，技术壁垒较高。射频电源作为用来产生等离子体的高频交变电源，广泛应用于刻蚀、PECVD、等离子体清洗/去胶、射频溅射、PEALD等半导体制造设备。射频电源极大程度上决定了产生离子的浓度、均匀度、稳定性，是刻蚀等工艺设备的核心零部件之一，需要满足高功率、高效率、精准的频率控制精度、较短的匹配时间等要求，技术壁垒较高，且随着制程演进对射频电源的要求也仍在不断提高。射频电源在半导体设备中成本占比显著，美系厂商垄断。射频电源是刻蚀设备、PECVD设备等工艺设备的核心零部件之一，在采购成...