芯源微发展历程、股权结构、产品种类及营收分析

涂胶显影设备国产替代先锋。

国内涂胶显影、单片湿法设备龙头，积极布局先进封装设备市场。2002年公司前身芯源半导体成立，2008年获批承担国家02重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目，2012年获批承担国家02重大专项“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目，2019年成功登陆科创板，同年自研前道单晶圆清洗设备出厂进行工艺验证，2023年、2024年分别推出新品键合机、化学清洗机。公司是国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头，是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，现已形成前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块。

股权较为分散，现有三大生产基地。公司股权较为分散，并无控股股东和实际控制人，截至2024年8月16日，公司前三大股东为科发实业、沈阳先进制造科技和中科天盛，分别持股10.64%、9.52%、8.44%。根据公司2023年报，公司目前拥有沈阳飞云路、沈阳彩云路、上海临港三大生产基地，拥有上海芯源微、沈阳芯俐微、Kingsemi Kyoto3家全资子公司，拥有广州芯知1家控股子公司。

公司涂胶显影设备性能优异，近年销量快速增长。公司目前已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号涂胶显影设备，已陆续获得多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商。2019-2023年公司光刻工序涂胶显影设备收入及销量CAGR分别为76%、48%，2023年，在国内晶圆厂扩产节奏放缓背景下，公司前道涂胶显影设备新签订单依然保持良好增速，部分型号设备整体工艺水平已能够对标国际主流机台。

公司浸没式机台已顺利实现验收。据公司2023年年报，2022Q4，公司首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，已顺利实现验收。2023年公司ArF浸没式高产能涂胶显影设备在成熟化、标准化等方面取得良好进展，截至2023年末，公司浸没式涂胶显影机台已获得国内5家重要客户订单。浸没式机台的推出，标志着公司前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭代。 u 第三代浸没式机台性能优异。据公司2022年年报，2022年12月，公司发布第三代浸没式高产能涂胶显影机，该机台产能300片以上，可匹配所有主流光刻机联机量产，除了可应用于浸没式工艺之外，还可通过选配全面覆盖offline、Barc、KrF、ArF、浸没式等国内28nm及以上所有光刻工艺节点，实现全面国产替代。

受益国产替代+新品开拓，近年业绩持续高增。公司在LED芯片、后道先进封装等领域深耕多年，积极发力前道设备领域，持续丰富产品种类，2019-2023年营收CAGR达51.78%，归母净利润CAGR达53.64%；2024Q1营收2.44亿元，同比下降15.27%，归母净利润0.16亿元，同比下降75.73%。2023年公司实现收入17.17亿元，其中光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备收入占比为62%、35%，公司持续推进前道涂胶显影设备国产替代，同时后道涂胶显影设备具备较强的全球竞争力，2019-2023年涂胶显影设备收入CAGR达76%；公司前道物理清洗国内领先，近年积极布局前道化学清洗，同时后道单片式湿法设备稳定量产多年，2019-2023年单片式湿法设备收入CAGR达58%。

2023年前道涂胶显影设备毛利率稳步改善。2022年起公司综合毛利率企稳回升，2023年公司综合毛利率为42.53%，同比增加4.13pct，其中光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备毛利率分别为38.84%、46.37%，同比增加4.18pct、7.20pct，随着零部件国产替代、规模效应以及机台不断成熟，2023年前道涂胶显影设备毛利率稳步改善。2023公司归母净利率为14.60%，同比基本持平。公司费用管控能力持续优化，2019-2023年公司期间费用率变动-11.09pct，同时持续加大研发投入，2024Q1研发费用率为18.60%，同比增加6.36pct。