半导体设备销售额及盈利水平有何趋势？

销售额高增,盈利水平稳步提升。

半导体设备销售额维持高增长态势，2022年半导体设备总收入规模为309亿/+59%，Q1-Q4分季度增速分别为64%、52%、78%和49%;2023Q1收入规模为78亿元(+69%，整体维持高增速,且依旧保持高位。半导体设备规模效应已现->归母净利逐步提升，2022年半导体设备行业总归母净利润规模为53.9亿元/+88%，Q1-Q4分季度增速分别为28%、115%149%和47%;2023Q1归母净利润规模为13.7亿元/+198%，2020年后伴随各环节设备商核心产品订单释放，规模效应以及控费能力提升带动归母净利稳步提升。

半导体设备规模效应已现->扣非归母净利逐步提升，2022年半导体设备行业扣非归母净利润为44.4亿/+213%，Q1-Q4分季度增速分别为524%、218%137%和127%;2023Q1扣非归母利润规模为11.7亿元/+139%，2020年后伴随各环节设备商核心产品订单释放，规模效应以及控费能力提升带动扣非归母净利稳步提升。非经常性损益占归母净利润比例逐渐降低。2021-2023Q1非经常性损益/归母净利润分别为50%/18%/15%，逐年下降，体现半导体设备企业主营业务盈利能力提升迅速。

半导体设备合同负债&存货高增，订单持续兑现，合同负债&存货高增预示订单充足。2022年末半导体设备行业合同负债为143亿元/+62%，存货为276亿元/+69%;2023Q1末合同负债149亿/+59%，存货304/+61%。零部件提前备货，经营现金流略有降低。2020年后半导体设备行业现金流净额有所下滑，主要系原材料大量备货引起，2022年经营活动现金流净额为-6.5亿，2023Q1经营活动现金流净额为-12.9亿元，同比增长6.3亿元。

半导体设备中薄膜沉积、清洗、CMP、涂胶显影环节表现亮眼，收入端:2022年薄膜沉积设备企业北方华创、盛美上海、拓荆科技营收增速分别为52%/77%/125%保持高速增长。清洗、涂胶显影设备，公司芯源微2022年营收同增67%，清洗设备企业至纯科技2022年营收同增46%。CMP设备企业华海清科2022年营收同增105%。干法刻蚀设备公司中微公司2023Q1营收增速分别为29%，略有下滑。利润端:∶2022/2023Q1北方华创、盛美上海、拓荆科技、芯源微、华海清科归母净利润同比增速均超过100%，清洗设备企业至纯科技‘2022/2023Q1归母净利润同增0%/186%，干法刻蚀设备企业中微公司2022/2023Q1归母净利润同增16%/135%。

设备各环节毛利率均保持在较高水平。薄膜沉积设备企业北方华创、盛美上海、拓荆科技2011/2023Q1毛利率均保持在40%以上，盛美上‘海2023Q1毛利率突破至54.6%，干法刻蚀设备公司中微公司2023Q1毛利率为45.9%;清洗、涂胶显影设备公司芯源微2023Q1毛利率为45.3%，同增6.56 pct，清洗设备企业至纯科技2022/2023Q1毛利率分别为35.4%/33.9%，毛利率略有下降;CMP设备企业华海清科2022/2023Q1毛利率分别为47.7%/46.7%，较为稳定。薄膜沉积、CMP、干法刻蚀、涂胶显影设备净利率保持较高。北方华创、盛美上海、拓荆科技整体保持在较高水平，拓荆科技2023Q1毛利率有所下降;华海清科2023Q1净利率为31.5%，保持较高水平;中微公司2023Q1净利率为22.5%，较为稳定;芯源微2023Q1净利率为22.9%。上海精测、中科飞测、凯世通由于处于高研发投入期，建设和研发投入较大，净利率数值较低。