MEMS在国内的发展获得了哪些政策支持？

国家政策持续支持国内 MEMS 传感器的国产化和自主能 力

国家产业政策聚焦并大力支持智能传感器 MEMS 的发展。国家颁布了多项鼓励支 持集成电路行业的产业政策及措施，2014 年提出的《国家集成电路产业发展推动纲要》， 2016 年提出的《“十三五”国家科技创新规划》、2018 年《战略性新兴产业分类》将集 成电路制造列为战略性新兴产业，纳入关键制造装备研发项目,提出提升核心装备自主能 力。2017，2020 和 2021 年的《智能传感器产业三年行动指南》和《工业强基重点产品、 工艺“一条龙”应用计划和示范项目》中，兼顾 MEMS 技术，针对关键环节重点基础产品 工艺，推动相关重点项目建设和技术突破。《加快推进传感器产业发展行动计划》提出到 2025 年重点领域满足战略新兴产业，工业互联网、国防等领域需求，涉及国防等重点领 域高端产品和服务市场占有率提高到 50%以上，解决行业主干产品智能化，可靠性和安 全性等关键问题，迈入世界先进行列。