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半导体产业链之电子特种气体行业深度研究.pdf

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• 2019/09/20
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电子特气贯穿半导体各步工艺制程，又决定了集成电路的性能、集成度、成品率，特气若不合格轻则导致产品严重缺陷，重则导致整条生产线被污染乃至全面瘫痪，是名副其实的电子工业“血液”，其纯度要求极高，纯化、杂质检测、储运技术面临全方位考验。