光伏设备行业专题报告:低氧型单晶炉迎新一轮技术迭代,助力N型硅片优化&电池效率提升.pdf

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  • 时间:2023/05/29
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光伏设备行业专题报告:低氧型单晶炉迎新一轮技术迭代,助力N型硅片优化&电池效率提升。随着N型电池片,尤其是TOPCon快速放量,N型硅片需求大幅提升。TOPCon 2022年 实际扩产约110GW,2023年1-4月扩产约400GW,带动N型硅片需求快速提升,而N型硅片 对晶体品质和氧碳含量要求很高,要求更高的少子寿命和更低的氧含量。

N型硅片容易产生由原生氧造成同心圆、黑芯片问题。主要系高温的硅溶液在坩埚里进 行相对高速的对流,因为外面热中间冷,底部热上面冷,硅溶液在坩埚内会形成类似“开 锅”现象,造成硅溶液内部出现流动,不停冲刷石英坩埚,而石英就是二氧化硅,其中氧 会在冲刷过程中融入硅溶液,造成晶体里含有较多的氧。

TOPCon更容易发生同心圆问题。TOPCon在后续的高温工艺(如B扩散)下,氧容易 沉淀形成氧环即同心圆,影响效率和良率,所以TOPCon对硅片氧含量更敏感;而HJT为低 温工艺,出现同心圆概率不高,可以选择高氧含量硅片。

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