微导纳米发展历程、主营业务、收入及股权结构介绍

先进薄膜沉积设备供应商，研发驱动产品多元布局。

1.ALD 技术为基、CVD 等技术梯次发展，积极布局泛半导体领域镀膜设备

微导纳米是一家以 ALD 技术为核心的薄膜沉积设备供应商。公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高 端微纳装备制造商，目前公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD 等多种真空薄膜技术梯次发展的 产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产 品及服务。 公司产品广泛应用于光伏、半导体等多个应用领域。公司目前已开发出多款薄膜沉积设备，涵盖 ALD、 PEALD 二合一、PECVD 等系列产品，下游应用领域包括半导体、光伏、新型显示、微机电（MEMS）、高功率 及高频率器件、催化及生物医药等，其中半导体、光伏领域产品矩阵更为丰富，贡献公司主要收入及订单来源。

公司的发展历程主要分为五个阶段，目前正处于战略升级发展阶段。

①首台产品研发验证阶段（2015 年 12 月-2017 年 7 月）：公司成立之初即开始原型机研发，于 2016 年底形 成原型机 KF1000 主机（夸父 KF 系列原子层沉积系统，主要运用 ALD 技术，对晶硅太阳能电池表面 Al2O3 钝 化膜进行制备，下同），并持续进行工艺调试。该原型机仅为单腔体主机，未包含材料传输结构，尚不具备产业 化生产能力。公司一代量产机型 KF4000 于 2017 年初开始工艺验证，于 2017 年中开始试量产。

②下游龙头客户攻坚阶段（2017 年 8 月-2018 年 5 月）：凭借工艺验证的初步结果，公司集中拜访国内电池 片行业龙头企业，陆续与光伏下游行业龙头企业签订样机试用协议。通过产品与客户产线的磨合，推进公司产 品在 PERC 电池钝化工艺上的突破。公司 2017 年下半年开始进行 KF6000 机型和以臭氧工艺为核心工艺的 KF10000S 机型的研发事宜，2018 年中 KF6000 机型进行量产验证。

③市场与产品突破阶段（2018 年 5 月-2018 年 12 月）：随着 KF6000 机型在下游头部企业开始量产爬坡， 由于产品的示范作用和带头效应，公司产品在行业内知名度进一步提升。同时，公司积极推进产品线的拓宽计 划，启动半导体领域与柔性电子领域机型的研发工作。

④加速发展阶段（2019 年 1 月-2020 年 12 月）：公司臭氧工艺与等离子体技术陆续取得突破，KF10000S 机 型与 ZR4000×2 机型（祝融 ZR 管式 PEALD 系统，集成 PEALD 与 PECVD 技术，同一台设备可完成 PERC 电 池或 TOPCon 电池 Al2O3 膜和 SiNx 膜，或 TOPCon 电池超薄 SiOx 隧穿层和掺杂多晶硅薄膜的制备）先后研制成 功，公司产品得到有效推广，在光伏领域的知名度进一步提升。

半导体领域，凤凰系列样机（凤凰 P 系列原子层沉积镀膜系统，运用 ALD 技术，主要用于单片型 12 寸及 8 寸晶圆生产中的氧化物、氮化物及金属镀膜工艺）于 2019 年初搭建完成并进行工艺调试。公司在此平台上开 发了 Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、SiO2 等单片镀膜工艺。公司于 2020 年初进行了麒麟（麒麟 QL 系列原子层沉 积镀膜系统，采用 ALD 技术，用于批量型 12 寸及 8 寸晶圆生产中氧化物、氮化物及金属镀膜工艺）、凤凰系列 新机型和龙系列团簇平台（龙 Dragon 系列真空传输系统，用于半导体先进制程的晶圆真空传输系统）的立项启 动工作，并着手建立产业化应用中心，配备更高级别的洁净室与半导体级检测设备。

⑤战略升级发展阶段（2020 年 12 月-至今）：在光伏领域，公司 ZR5000×2 批量型 PEALD 镀膜系统以及 KF10000S、KF15000 等高端光伏装备陆续获得包括阿特斯、隆基股份、爱旭股份、晶科能源等多家重要光伏客 户订单，并在通威太阳能、无锡尚德等 N 型 TOPCon 高效电池生产线上开展应用；在半导体领域，公司首套用 于 300mm（12 英寸）晶圆的 High-k 栅氧层薄膜沉积的 ALD 设备已实现销售，实现国产半导体 ALD 设备在 28nm 集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领 域研发试制新型 ALD 设备陆续取得进展；在其他应用领域，公司自主开发的 FG 系列卷对卷设备能够在大幅宽 的材料表面沉积阻隔层，实现较低的水汽渗透率，具备良好的阻水阻氧能力，已实现产业化应用。

2.自主研发驱动成长，深耕泛半导体领域真空薄膜沉积设备

自主研发驱动发展，持续加大研发投入。随着技术和应用领域的不断发展，下游客户对薄膜沉积设备工艺 路线、材料类型、技术指标等要求也不断变化，公司紧跟行业技术发展趋势，持续推进新产品、新工艺研发， 研发投入金额保持快速增长。公司研发支出（均为费用化开支）从 2018 年的 0.35 亿元大幅提升至 2022 年的 1.38 亿元，年复合增速达到 41.34%，2022 年研发费用占营收比重为 20.22%，维持在较高的水准。 研发人员快速增长，团队规模逐渐壮大。公司高度重视自主研发，以海内外专家为核心，积极引入和培养 一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件等领域工程师，2022 年末研发人员达到 241 人，占比达到 23.08%，较 2018 年 62 人快速增长，研发团队的构建将不断助力公司下游应用领域关键产品和技术的攻关与突破。

核心技术人员积累深厚，掌握 ALD 核心技术，带领公司不断实现突破。公司核心技术人员 LI WEI MIN、 LI XIANG、许所昌和吴兴华具有坚实的研发背景和多年技术研发经验。带领公司不断打破技术壁垒、实现突破， 并积极推动成果在光伏、半导体等领域实现产业化应用，助力公司快速发展。 ①LI WEI MIN 博士拥有 25 年以上原子层沉积（ALD）技术的研发和产业化经验，掌握国际领先的原子层 沉积技术，是最早开始研究 ALD 技术的华人之一，负责公司和技术研发战略规划与方向决策、研发体系搭建、 先进设备产品的开发和产业化，指导实现了公司 ALD 技术在光伏领域的产业化，并推广至半导体等其他领域。 ②LI XIANG 博士是半导体器件及制造工艺技术专家，曾从事新型半导体器件制造工艺和整合的研发工作， 积累了丰富的原子层沉积 ALD 工艺技术研发和量产导入经验，对于 ALD 工艺在微纳器件上的应用有着深刻的 理解，负责开发 ALD 技术的前沿工艺和在多个重点工业领域的产业化应用。 ③许所昌博士拥有多年半导体行业薄膜工艺研发经历，致力于先进半导体工艺和技术开发；在 28nm 及以 下先进制程中原子层沉积技术应用方面积累了大量经验，曾就职于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司担 任研发工程师；在公司内负责半导体事业部工艺部门组建及半导体相关原子层沉积工艺技术攻关和产业化。 ④吴兴华拥有 15 年以上高效率太阳能电池设备与高效电池技术研发经验，曾任中国台湾工业技术研究院高 级工程师，长期致力于高效率电池技术开发与产业化研究，在 N 型高效电池制造领域积累了丰富的经验。目前 负责光伏事业部的业务与产品战略发展规划，推动研发团队进行新型高效电池设备开发与产业化验证。

公司核心技术依靠自主研发，在光伏及半导体领域实现了产业化应用。公司自主研发的多项原子层沉积及 真空镀膜相关技术在较短时间内实现了产品与工艺的突破升级，核心技术主要来源于自主研发。多项核心技术 获得发明专利，且已在光伏及半导体领域实现了产业化应用，构筑了公司技术方面的竞争优势。2022 年公司新 增专利申请及授权数量再创新高，各类型国家专利授权共计 16 项，累计达到 102 项。

公司持续推进光伏及半导体领域技术研发，并逐步延伸至新能源、柔性电子、新型显示等领域。公司继续 深化开发薄膜沉积技术在下一代光伏电池、半导体各细分应用、柔性电子等应用领域的技术和产品储备，并已 在下游行业多家知名公司进行产品验证。2022 年公司研发投入 1.38 亿元，其中半导体领域研发投入占比约为 55.19%，投向包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；光伏领域研发投入占比约为 37.47%，投向 包括公司 TOPCon、XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术等项目。

3. 业务规模高速增长，收入结构逐步走向多元化

营业收入高速增长，2018-2022 年收入 CAGR 达到 101%。公司专注于薄膜沉积设备领域，持续拓展下游 应用领域。近年来受益于光伏行业的快速发展，公司持续推出符合市场需求的高性能产品，销售规模实现了高 速增长，2018-2022 年公司营业收入从 0.42 亿元增长至 6.85 亿元，CAGR 为 101.03%；归母净利润于 2019 年扭 亏实现盈利 0.55 亿元后保持稳定，2022 年归母净利润为 0.54 亿元，2020 年起公司加大人才引入力度和产品应 用领域拓展，费用金额快速上升，导致最终净利润水平有所波动。2022 年公司主要产品在光伏 PERC 及 TOPCon 等新型高效电池技术领域、半导体领域的销量大幅增长，带动收入规模快速增长，全年实现营收 6.85 亿元，同 比增长 59.96%，归母净利润 0.54 亿元，同比增长 17.43%。受下游扩产以及产品验收节奏影响，2023Q1 公司实 现营收 0.76 亿元，同比下降 42.65%，归母净利润为-0.01 亿元，同比下降 141.75%。

新签订单大幅增长，未来业绩增长有保障。截至 2022 年 12 月底，公司在手专用设备订单 22.93 亿元，其 中光伏设备、半导体设备、其他设备订单分别为 19.67 亿元、2.57 亿、6881 万元。2023 年 1 月初至年报披露日， 公司新增专用设备订单 22.74 亿元，其中光伏设备、半导体设备、其他设备新增订单分别为 20.16 亿元、2.42 亿 元、1580 万元。2022 年下半年以来 TOPCon 电池大扩产趋势明确，公司受益于此实现了光伏设备订单的快速增 长；与此同时，公司积极推进半导体设备验证，订单量持续攀升贡献增量。我们认为，随着销售规模的持续扩 大，各项费用成本或将摊薄，公司业绩表现有望稳中向好。

收入构成逐渐多元化，产品拓展成效逐步显现。从公司收入的产品构成来看，光伏 ALD 设备贡献公司主要 的收入来源，2019-2020 年公司专用设备收入均为光伏 ALD 设备，2021 年 ALD 设备销售收入占专用设备收入 比例为 45.32%，2022H1 进一步降低至 44.18%。公司 PECVD 设备、PEALD 二合一设备于 2020 年开发完成， 而后产品取得了相应订单并于 2021 年开始实现销售，2021 年光伏 PECVD 设备、PEALD 二合一设备、半导体 ALD 设备均实现了收入确认，为收入增长带来增量，整体产品结构多元化程度实现了较大的提升。此外，随着 TOPCon 等新型高效电池技术路线确定、成熟度提高，下游客户新型高效电池扩产计划加速，公司 2022 年 ALD 设备的订单数量大幅增长。此外，设备改造业务主要受光伏电池硅片大尺寸化趋势、公司臭氧工艺的推广以及 新工艺开发及应用情况等因素影响，预计设备改造业务规模会随着设备累计销量增加而持续增长。

产品结构变动影响近年来毛利率有所下降。从毛利率的绝对数值来看，公司整体毛利率保持在 40%以上的 较高水平，体现出公司产品的市场竞争力强劲。从变化趋势来看，2018-2020 年公司毛利率稳定保持在 52%左右 的水平，2021 年毛利率同比下滑 6.13pct 至 45.77%，主要由于新推出的 PECVD 设备和 PEALD 二合一平台设备 毛利率偏低所致；相关产品开发完成时，新型高效电池的具体技术路线尚未成为行业共识，设备产品在新型高 效电池产业化应用的成熟度也有待提高，因此公司首先将其在 PERC 电池领域进行推广，而相关产品于 PERC 技术路线的应用在市场上已存在成熟的竞争方案，参考市场水平定价，毛利率偏低。2022 年下半年以来 TOPCon 电池大扩产的趋势逐步明确，公司应用于新型高效电池的设备有望更充分地发挥出产品潜力，毛利率有望提升， 带动整体盈利能力实现优化。

费用投入持续增加，研发费用比例维持高位。2018-2022 年公司整体费用率处于较高水平，主要由于公司正 处于业务拓展期，加大人才引入力度和产品应用领域拓展，导致投入增加、费用上升。2022 年公司期间费用率 为 34.05%，同比下降 3.01pct，其中销售、管理、研发、财务费用率分别为 6.63%、7.29%、20.22%、-0.09%， 同比分别-1.22pct、+1.27pct、-2.46pct、-0.60pct。随着公司收入规模的逐渐增长，各项费用有望摊薄，整体费用 率水平有望不断下降。

4.股权结构相对集中，股权激励彰显未来增长信心

公司股权结构相对集中，董事长王磊、其父王燕清、其母倪亚兰为公司实控人。截至 2023Q1 末，公司控 股股东为万海盈投资，直接持股比例为 51.18%。公司股权集中度相对较高，董事长王磊、其父王燕清、其母倪 亚兰组成的家族通过万海盈投资、聚海盈管理、德厚盈投资间接控制公司 60.60%的股份，三人系公司实控人。 王磊担任公司董事长、倪亚兰担任公司董事；王燕清于 2011 年 12 月至今任先导智能董事长、总经理，王磊于 2018 年 2 月至今任先导智能董事。此外，公司首席技术官 LI WEI MIN（中文名黎微明）直接持股 9.42%，副总 经理、核心技术人员 LI XIANG 直接持股 4.44%，也体现出公司对于核心技术人员的高度重视。

2023 年发布限制性股权激励计划，进一步实现核心团队与公司的利益协同。2023 年 3 月，公司发布《2023 年限制性股票激励计划（草案）》，该激励计划拟向激励对象授予 1782.10 万股限制性股票，约占该激励计划草 案公告时公司股本总额的 3.92%；其中，首次授予 1425.68 万股，预留 356.42 万股。 根据公司 2023 年 3 月 30 日发布的《关于向激励对象首次授予限制性股票的公告》，公司首次授予 322 名激 励对象限制性股票 1425.68 万股，约占公司股本总额的 3.14%，其中以 5.22 元/股的授予价格向符合授予条件的 2 名 A 类激励对象授予 530.20 万股限制性股票；以 17.40 元/股的授予价格向符合授予条件的 320 名 B、C 类激 励对象授予 895.48 万股限制性股票。A 类激励对象之一为公司总经理 ZHOU REN，其自 2021 年 7 月 1 日于公 司任职，其曾先后任职于半导体退火设备公司 AG Associates、半导体薄膜沉积公司 Novellus System、私募股权 及投资咨询公司 CVC Inc、半导体刻蚀沉积清洗等设备公司 Lam、半导体刻蚀设备公司中微半导体设备（上海）、 半导体前道检测设备公司 KLA Tencor、MOCVD 核心设备厂商光达光电设备科技（嘉兴）、半导体薄膜沉积设 备公司拓荆科技，具有丰富的行业经验。

股权激励授予目标彰显管理层发展信心。对于此次股权激励限制性股票的归属条件，公司制定了业绩层面 的考核要求。A、B 类激励对象首次授予部分的考核年度为 2023-2027 年，五期考核目标分别为以 2022 年营业 收入为基数，2023-2027 年营业收入增长率分别不低于 35%、82%、146%、232%、348%，对应营业收入分别为 9.24、12.46、16.84、22.73、30.67 亿元；若预留授予的限制性股票在 2023 年三季报披露前授出，则预留部分业 绩考核年度及各考核年度的考核安排同首次授予部分一致；若预留授予的限制性股票在 2023 年三季报披露后授 出，A、B 类激励对象预留授予限制性股票的考核年度为 2024-2028 年，五期考核目标为以 2022 年营业收入为 基数，2024-2028 年营业收入增长率分别不低于 82%、146%、232%、348%、505%，对应营业收入分别为 12.46、16.84、22.73、30.67、41.41 亿元。C 类激励对象考核年度及考核目标为对应条件下 A、B 类激励对象的前四年 指标。