中巨芯发展历程、主营产品及业绩表现分析

公司是国内领先的电子化学材料生产商。

1.主要从事电子湿化学品、电子特气和前驱体材料的研发、生产和销售

中巨芯科技股份有限公司成立于 2017 年，专注电子化学材料领域，主要从事电子湿化学品、电子特 气和前驱体材料的研发、生产和销售。公司产品广泛应用于集成电路、显示面板以及光伏等领域的 清洗、刻蚀、成膜等制造工艺环节，目前产品已批量供应国内集成电路及显示面板的下游核心客户， 多项产品已被中芯国际、海力士等知名公司使用。

公司前身浙江凯圣氟化学有限公司成立于 2003 年，于 2013 年开始销售电子湿化学品，具备多年研发、 量产电子湿化学品的经验。电子湿化学品的工艺水平和产品质量对集成电路制造的成品率、电性能 及可靠性有重要影响，进而影响终端产品的性能。在集成电路领域，晶圆尺寸越大，单位体积晶圆 可生产的芯片越多，生产效率更高，因此大尺寸化是国际主流趋势。大尺寸晶圆的生产对电子湿化 学品的纯度有更高要求，集成电路用电子湿化学品纯度要求为 G3 及以上水平，12 英寸晶圆制造一般 要求 G4 水平。目前国内只有少数几家企业的产品能够达到 G4 水平，而公司主要产品电子级氢氟酸、 电子级硝酸、电子级硫酸均已达到更高的 G5 水平，电子级盐酸、电子级氟化铵、电子级氨水等产品 也达到 G4 水平。 浙江博瑞电子科技有限公司成立于 2014 年，于 2016 年开始进行电子特气生产，2017 年并入中巨芯， 获国家科技部重点研发专项课题，研发实力雄厚。电子特气是集成电路、显示面板等电子工业生产 不可或缺的原材料，广泛应用于刻蚀、清洗、掺杂、气相沉积等工艺环节，决定了器件的最终良率 和可靠性，具有较高的产品附加值。纯度是电子特气核心指标，集成电路制造对不同气体的纯度要 求不一，通常需要纯度 5N 及以上的电子特气。公司主要产品高纯氯气、高纯氯化氢纯度均达到 6N 水平，可应用于 28 nm 以下先进制程的集成电路制造。高纯六氟化钨及高纯氟碳类气体部分产品也 达到 5N 水平。

公司于 2018 年开始前驱体材料的研发工作，目前已掌握 HCDS、BDEAS、TDMAT 等前驱体材料的生 产制备技术。前驱体材料是薄膜沉积工艺的核心制造材料，应用于半导体生产制造工艺，产品主要 用于沉积半导体导线间的介电层，以及在半导体栅极中复合金属材料。集成电路制造中先进制程（28 nm 及以下）一般需要前驱体材料纯度达到 6N 以上。目前公司已实现纯度为 6-7N 的 HCDS、BDEAS、 TDMAT 生产，产品已进入客户端认证环节。

2.公司产品主要应用于集成电路、显示面板及光伏等下游领域

公司产品位于电子信息产业偏中上游的材料领域，下游应用领域包括集成电路、显示面板及光伏等， 终端应用场景主要是电子信息产业。电子化学材料行业是精细化工和电子信息行业交叉的领域，具 有品种多、质量要求高、对环境洁净度要求苛刻、产品更新换代快、产品附加值高、资金投入量大 等特点。电子湿化学品和电子特气伴随集成电路的整个制作过程，涉及多个制造工艺环节，包括硅 片、晶圆制造过程的刻蚀、清洗，以及外延、高温扩散等。集成电路制程对电子湿化学品和电子特 气的纯度、金属杂质含量、颗粒数量和粒径、品质一致性要求严苛。例如，电子湿化学品金属杂质 含量千亿分之一（10-11）级、电子特气金属杂质含量百亿分之一（10-10）级的波动会对整条集成电路 生产线的产品良率造成影响，进而影响终端产品的性能。

3.公司业绩表现：营业收入快速增长，预计未来盈利水平向好

公司 2021 年营业收入为 5.66 亿元，同比增长 41.38%。公司 2018 年营收为 1.56 亿元，2021 年营收为 5.66 亿元，2018-2021 年复合增速达 53.61%。2022 年一季度公司营收为 1.72 亿元，较上年同期增长 44.57%，高于 2018 年全年营收。公司营收逐年递增、增速迅猛，原因在于：1）公司子公司凯圣氟化 学电子湿化学品销售收入逐年上升。由于凯圣氟化学投产较早，2011 至 2015 年已先后建成电子湿化 学品各系列产品的生产装臵并进入试生产阶段，具有良好的客户基础，且凯圣氟化学持续投入研发 活动、改善产品生产工艺、提升产品品质，使得其产品在市场中具备更高竞争力，可用于更高端的 集成电路领域。2）公司子公司博瑞电子的电子特气一期高纯氯气和高纯氯化氢建设项目于 2018 年 建成并投产。该项目投产时间相对较晚，报告期内公司产品品质不断提升，在产品逐渐得到市场验 证和认可后，收入规模也同步上升。3）半导体材料国产化进程加速，显示面板产能向大陆地区转移， 中国集成电路、显示面板行业高速发展。随着近年来集成电路、显示面板上游电子化学材料国产替 代的推动，市场对国产电子湿化学品和电子特气的需求得到了较大提升，市场规模快速增长。

公司尚未实现盈利。2019 年至 2021 年，公司分别实现归母净利润-620.6 万元、2,467.16 万元、3,332.03 万元，实现扣非归母净利润-2,133.32 万元、7.83 万元、-682.16 万元。公司部分产品尚处于客户认证阶 段，新产线投产尚未实现规模效应，折旧压力较高。且公司研发投入不断增大，并叠加 2021 年确认 了 1,362.37 万元股份支付费用的影响，使得公司 2021 年扣非归母净利润为负，处于尚未盈利状态。 2022 年一季度公司实现归母净利润-89.38 万元，同比下降 116.31%，实现扣非归母净利润-224.66 万元， 同比下降 151.22%，主要原因系博瑞电子和博瑞中硝部分电子特气、前驱体材料的产品尚处于客户认 证阶段，以及疫情对公司主要生产经营地衢州市 2022 年一季度的生产经营和市场开拓活动造成了严 重影响，公司按存货成本高于其可变现净值的差额计提了存货跌价准备，产生 1,486.02 万元资产减值 损失。 预计未来公司盈利水平向好。随着博瑞电子已量产产品产能利用率的进一步提升，以及尚处于客户 认证阶段的产品认证进程达到预期，预计未来销售收入呈增长趋势，亏损也将收窄，直至实现盈利。 未来随着凯圣氟化学生产线的升级、改造和扩产，相关应用领域下游需求稳定、产品销量持续提升， 盈利规模有望继续增长。综上，预计公司整体规模将持续扩张，未来公司盈利水平保持向好趋势。

公司营业收入以电子湿化学品为主，电子特气收入逐年上升。公司目前主营业务为电子湿化学品和 电子特气，其中电子湿化学品对收入贡献最大。2019 年至 2021 年，公司电子湿化学品板块分别实现 营业收入 2.98 亿元、3.37 亿元、4.47 亿元，占各期主营业务收入的比例分别为 97.51%、91.98%、83.18%。 报告期内公司电子特气业务收入分别为 0.07 亿元、0.29 亿元、0.90 亿元，占各期主营业务收入的比例 分别为 2.43%、8.02%、16.82%。受到各产品线投入和建设时间不同的影响，公司收入呈现以电子湿化 学品为主、电子特气收入逐年上升的趋势。 公司产品收入主要分布于集成电路、显示面板以及光伏等下游应用领域。由于集成电路工艺用的电 子湿化学品和电子特气主要产品量产或投产时间较晚，部分产品仍处于客户认证阶段，2019-2021 年 公司应用于集成电路领域产品的销售收入占比分别为 43.18%、58.27%、68.48%。

公司电子湿化学品各产品产能利用率提升，产销率较高。2011-2015 年，公司子公司凯圣氟化学主要 产品电子级氢氟酸、硝酸、硫酸的产线先后建成生产装臵并进入试生产阶段，公司先后对电子湿化 学品的产线进行技改或扩建，以适应产能利用率的提升。凯圣氟化学电子级氢氟酸 2020 年实施技改， 产能新增 6,000 吨，2021 年根据下游市场变化调减 2,500 吨/年 40%浓度电子级氢氟酸的产能；电子级 硝酸 2021 年实施技改，产能新增 9,000 吨；电子级硫酸 2021 年实施技改和扩建，产能新增 20,000 吨。 此外公司持续投入研发活动，使产品在市场中具有更高的竞争力，产销率维持较高水平。

2019-2021 年公司电子级氢氟酸、电子级硫酸均价提升，电子级硝酸均价下行，各产品收入呈上升趋 势。公司电子级氢氟酸均价逐年上升，与产品规格提升、可应用于更高端的下游市场有关。受下游 集成电路客户降本增效影响，公司主动调整电子级硝酸产品价格，2020 年、2021 年均价分别下降 3.62%、4.38%。由于集成电路用电子级硫酸规格高且销售单价较高，随着其收入占比提升，产品均价 上升。2019 年至 2021 年公司电子级氢氟酸、电子级硝酸、电子级硫酸合计收入分别占总营收的 89.40%、85.79%、87.04%。公司其他产品包括缓冲氧化物刻蚀液、电子级氨水、硅刻蚀液、电子级氟 化铵、电子级盐酸等，2019 年至 2021 年合计收入占比为 10.60%、14.21%、12.96%。2019-2021 年公司 电子湿化学品各产品收入均呈现上升趋势，主要原因为公司产品技术等级提升以及下游市场开拓。

公司电子特气产品逐渐通过客户认证，产能利用率及销售收入提升。公司生产的电子特气主要为高 纯氯化氢、高纯氯气等产品。博瑞电子高纯氯化氢、高纯氯气产能利用率较低，主要原因为 2016 年 底博瑞电子一期电子气体项目装臵建成并进行试生产，高纯氯气、高纯氯化氢分别于 2018 年、2019 年形成销售，导致报告期内产能利用率较低。2019-2021 年受到集成电路客户降本增效等影响，公司 高纯氯化氢均价有所下降；因客户采购量增加，单位产品的包装及运输成本下降，高纯氯气销售单 价下降。随着公司加强市场开拓力度、产品论证深入，公司高纯氯化氢、高纯氯气销售规模不断扩 大，2021 年分别实现销售收入 6,023.76 万元、2,966.74 万元，2019-2021 年收入复合增长率分别为 1,579.71%、146.48%。

公司主营业务毛利率总体呈上升趋势。2019 年至 2021 年公司主营业务毛利率分别为 20.74%、19.26%、 22.69%，呈上升趋势。电子湿化学品方面，公司不断加大研发投入、改善生产工艺、提升产品规格， 使其可用于更高端的集成电路。随着客户积累，销量进一步提升，整体销售单价因此上升。2021 年 公司电子湿化学品业务毛利率为 20.10%，同比下降 3.35 pct，主要原因为 2021 年度大宗商品价格上涨， 导致上游原材料价格上涨，使电子湿化学品毛利率下滑。电子特气方面，2019 年、2020 年公司电子 特气业务毛利率均为负，2021 年毛利率为 35.48%，主要原因为公司电子特气项目投产较晚，初期处 于市场开拓、客户认证和工艺提升阶段，固定资产折旧费用、人工成本等金额较大，且由于产能利 用率较低，单位产品材料用量大，导致毛利率为负。随着公司电子特气产品品质改善以及客户数量 的增加，产量和销售收入规模逐渐扩大，毛利率逐年提高。

公司电子湿化学品毛利率略低于同行业可比公司，子公司凯圣氟化学毛利率与行业平均毛利率不存 在明显差异。公司电子湿化学品业务主要由凯圣氟化学和凯恒电子开展，其中凯圣氟化学专注于集 成电路用电子湿化学品系列产品，产品规格高，是公司未来业务发展重点。凯恒电子从事光伏、显 示面板用电子级氢氟酸的生产和销售，产品规格较低，主要应用在太阳能电池片清洗、显示面板玻 璃减薄等，其报告期内产生的收入占全部收入的比重逐年下降。若剔除凯恒电子毛利率影响因素， 公司子公司凯圣氟化学毛利率与行业可比公司平均毛利率不存在明显差异。

公司电子特气毛利率与同行业可比公司有较大差异。公司电子特气投产时间较晚，目前仍处于工艺 提升以及市场拓展阶段。随着产能逐步释放，公司电子特气毛利率逐步提升，于 2021 年提升至 35.48%。同行业公司进入市场较早，产品品种较多，故毛利率高于公司同类产品。

公司期间费用率保持稳定。2019 年至 2021 年，公司期间费用总额分别为 6,919.78 万元、6,915.13 万元 和 10,968.60 万元，占营业收入的比重分别为 20.89%、17.28%、19.39%。2020 年和 2021 年公司期间费 用率降低，主要是因为公司采用新收入准则，将运输费用调整至主营业务成本。随着公司管理体系 的日趋成熟、规模经济和学习效应渐显，公司期间费用率将逐渐下降。当未来毛利能够覆盖期间费 用时，可实现扭亏为盈。公司测算扭亏为盈的时间节点约为 2023 年。