量测设备行业研究报告：细致检测攻坚克难，精准度量引领进步.pdf

上传者：老王
时间：2022/12/05
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量测设备行业研究报告：细致检测攻坚克难，精准度量引领进步。集成电路生产工艺演进，量测设备重要性提升：量测设备能在生产中监测、识别、定位、分析工艺缺陷，对晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良率，起到至关重要的作用。量测设备分为尺寸测量和缺陷检测两大类。集成电路工艺升级推动芯片生产的总步骤数不断上升。如今芯片生产涉及超 1000 道工序，即使每道工序良率达到 99.9%，芯片的最终良品率也只有 36.8%，这对单个工序的良率提出了更高的要求。随着集成电路继续多层化、复杂化，量测设备的重要性日趋凸显。

量测市场广阔细分赛道多，海外巨头一家独大：量测设备开支占半导体前道设备整体开支的 13%，2021 年全球市场规模约为 104 亿美元，先进制程有望推动市场实现长远增长。量测设备种类多，存在膜厚、套刻误差、关键尺寸、有图形缺陷检测、无图形缺陷检测、电子束等多个细分类赛道。美国科磊（KLA）为量测领域行业龙头，产品覆盖广泛，市场占比 52%,超过第二名应用材料 4 倍以上。

量测设备自给率低，国产化需求量大时间紧迫：量测设备涉及高端光学和电子学技术，国内积累相对薄弱；单个细分类设备市场小，重视程度不足，国内企业之前长期单打独斗。依据最新预估，中国大陆量测设备市场规模 31.1 亿美元，国产化率只有 2%。海外不断施加限制措施，量测设备已成为光刻机之外威胁较大的短板。面对威胁，国内晶圆厂积极引入国产量测设备进行工艺验证，有望推动国内量测产业快速发展。

国内量测企业迎难而上，全面布局成长可期：精测电子、睿励科学仪器、中科飞测、东方晶源等企业，凭借多年的研发经验和技术积累，逐步破茧而出。国内量测企业多维布局，已实现对多种细分类设备的广泛覆盖，并在光学系统和检测算法方面取得突破，多种设备达到 28 纳米工艺节点，多个 14 纳米级产品进入工艺验证阶段；展望未来，国内企业有望缩小与海外企业的差距并取得出色业绩。