中科仪干式真空泵在集成电路领域的国产替代进展及市场地位如何？
- 提问时间：2026/06/15
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请分析中科仪在干式真空泵领域的核心技术优势，以及其在集成电路先进制程中的国产替代进展和市场地位。
最佳答案
由匿名用户编辑于2026/06/15 14:41
中科仪在干式真空泵领域具有显著的技术优势和国产替代进展。公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。公司的研发创新打破了欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。此外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。在光伏领域，公司同样具备较强的市场竞争力，产品广泛应用于光伏电池片制造等泛半导体领域。总体而言，中科仪在干式真空泵领域具有较强的技术实力和市场份额，有望在国产替代进程中持续受益。
参考报告REPORT
中科仪-920186-北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头，打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长.pdf
中科仪（920186.BJ）是一家专注于干式真空泵和真空科学仪器设备研发、生产、销售及相关技术服务的企业，拥有中科院背景，是真空设备领域的领军者。公司主营业务包括面向半导体及泛半导体领域用于晶圆制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司拥有三个国家级研发平台，截至2025年12月31日，已获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，软件著作权登记37项。在干式真空泵领域，公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。公司的研发创新打破了欧美及...
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