2026年中科仪新股报告：聚焦真空核心设备，自主创新驱动长期发展

真空装备领域国内龙头企业

中科仪成立于 2001 年，公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设 备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公 司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国 家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司致力于引领真空技术、支撑科技创新、 促进产业发展，为国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。

公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及 面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司先后承担“863 计划”“02 专项” “国家重点研发计划”“04 专项”等国家级重大科研专项/课题。公司通过自主研发创新实现了国产 干式真空泵在集成电路领域的批量应用，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控 和供应链安全。在真空科学仪器设备领域，公司长期致力于高端科研仪器设备的研发制造，为我国 重大科技基础设施的建设发展做出贡献。另外，公司打破国外长期禁运，在科研用 MBE 设备研制 领域积累了丰富经验。

截至 2026 年 4 月 8 日，国科控股持有国科科仪 100%股权，其通过国科科仪控制公司 35.21% 股份，系公司的实际控制人，且最近两年内未发生变更。国科科仪持有公司 35.21%股份，系公司控 股股东。国家集成电路基金持有公司 19.73%的股份，浑璞景行持有公司 5.01%股份。股权结构稳 定，公司设立有 3 个全资子公司。

公司的主要产品为面向半导体及泛半导体领域用于晶圆制造的干式真空泵，及面向国家重大科 技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。同时，公司提供相关技术服务。 真空泵是半导体制造真空系统的核心关键部件，集成电路产业 15 个主要工艺环节中的 11 个需 要使用真空泵实现真空环境的获得，占比超过 70%。真空泵是获得、改善和维持真空的必要装置， 而干式真空泵是目前半导体和泛半导体领域主流用泵，特指泵的抽气流道（如泵腔）中不使用任何 油类和密封液体并可直排大气的泵。

干式真空泵具有清洁、安全、振动小、噪声低、性能稳定等特点，无需像传统油封式机械泵一 样使用油或液体进行密封，不会在泵腔中逆流或扩散，避免油类或腐蚀性蒸汽对生产造成的负面影 响和安全隐患，能够满足半导体和泛半导体领域对洁净环境的较高要求。干式真空泵可广泛应用于 半导体、光伏、锂电、制药等多个领域。

公司真空科学仪器设备主要面向国家重大科技基础设施和前沿科学领域研究使用，包括用于薄 膜制备的仪器设备（PVD、CVD）和用于重大科技基础设施的高能物理真空装置。

公司主要从事干式真空泵、真空科学仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。公 司通过向集成电路制造企业、光伏产品生产企业、相关设备制造企业以及高等院校、科研院所销售 干式真空泵、真空科学仪器设备、配件或提供技术服务获取收入和利润。 公司干式真空泵产品的客户主要为集成电路制造企业、光伏产品制造企业及相关设备制造企业， 获取订单的方式主要为招投标和商务谈判，产品销售方式主要为直销。其中，上海华力、隆基绿能 等集成电路和光伏产品制造企业系公司干式真空泵产品的终端用户，公司与该类客户直接签署销售 合同；同时，公司也存在向装备制造企业销售的情形，由装备制造企业集成本公司产品再向集成电 路或光伏产品制造企业销售。除直销以外，报告期内公司干式真空泵产品还存在少量经销，即公司 将产品销售给经销商，再由经销商向终端用户提供产品。报告期各期，公司经销收入占干式真空泵 销售收入的比例分别为 3.69%、1.82%、2.53%，占主营业务收入的比例分别为 2.61%、1.32%及 1.64%，占比较小。 公司真空科学仪器设备产品的客户主要为科研院所、大专院校等科研单位，公司主要通过招投 标或商务谈判，以直销的方式获取订单。此外，由于部分科研单位通过贸易商对仪器设备进行统一 采购，公司存在少量向贸易商销售的情形。

营收利润稳步增长，研发投入比重增大

（一）业绩稳步增长，费用控制良好

2025 年公司实现营 业收入、 归母净利润双增长。2025 年公司实现营业收入 12.91 亿元，同比 增长 19.30%；实现归母净利润 84386.54 万元，同比增长 337.77%。2021-2024 年公司的营业收入 和归母净利润的复合增长率分别为 34.13%和 43.44%。营业收入端，公司近年来实现持续稳步增长； 归母净利润端，2024 年受光伏行业景气度下降的影响，公司干式真空泵在光伏领域的出货量有所下 滑，拖累当年归母净利润情况，但公司盈利水平整体呈现上升趋势。

公司盈利能力总体 稳定，费 用 控制持续优化。2025 年公司的毛利率为 26.78%，净利率为 65.35%， 近年来公司的盈利能力总体稳定。过去 5 年，公司的费用率从 29.81%逐渐调整至 19.09%。2025 年，公司管理费用率、销售费用率和财务费用率分别为 6.47%、4.10%和-0.02%。

公司锚定服务国家战略新兴产业与重大科技创新体系建设的核心方向，坚定走自主创新与国产 化替代发展道路，聚焦干式真空泵与真空科学仪器设备两大核心赛道，持续深耕半导体、泛半导体 及国家重大科技基础设施领域。公司依托中科院技术底蕴与真空技术装备国家工程研究中心、国家 真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台，累计承担“02 专项”“863 计划”等国家级重大科研课题十余项，构建起无油真空获得、精密加工等八大核心技术体系。截至2025 年 12 月 31 日，公司手握 103 项发明专利，并主导制定 13 项真空领域国家、行业及团体标 准，累计获国家科技进步奖 6 项，支撑 11 项国家重大科技基础设施建设，有效保障了半导体关键 零部件自主可控，研发实力与技术积淀行业领先。 公司干式真空泵成功打破欧美日企业长期垄断，实现 14nm 先进制程全覆盖、全工艺批量应用， 可适配国内外主流半导体设备厂商数百种机台；真空科学仪器设备深度支撑北京正负电子对撞机、 上海光源等 11 项国家重大科技基础设施建设，多项成果斩获国家科技进步奖。公司是国内集成电路 领域出货量最大的干式真空泵企业、唯一实现先进制程批量应用与全工艺覆盖的国产厂商，稳居国 产真空装备龙头。同时公司是国内大科学装置关键真空部件最主要研制单位，技术水平达国际先进。 公司有力保障我国半导体制造关键零部件自主可控与供应链安全，推动真空装备国产化突破，深度 支撑集成电路、光伏等战略产业高质量发展，为国家高水平科技自立自强、关键核心技术攻关与新 型工业化建设提供核心装备支撑。

（二）产能利用率高，下游需求旺盛

从 2023 到 2025 年，公司两大核心产品产销表现彰显较强韧性，整体供需格局持续优化。干式 真空泵方面，产能稳步扩张至 2025 年的 10587 台，产能利用率始终维持 90%以上的较高水平，2024 年受下游半导体需求阶段性拉动实现超产运行。2025 年伴随行业需求回暖，干式真空泵产销率大幅 提升至 101.85%，有效消化前期库存，主营业务收入同步增长至 8.35 亿元，呈现明确的量价齐升趋 势。 真空科学仪器设备方面，连续三年产销率均超 100%，2025 年进一步提升至 109.18%，订单饱 满、需求确定性突出，主营业务收入从 2023 年的 1.53 亿元增长至 2025 年的 2.38 亿元，复合增速 超 25%，为公司业绩提供稳定支撑。整体来看，公司产能布局与行业需求趋势高度匹配，核心产品 库存去化顺畅，下游景气度持续修复，为后续盈利水平提升奠定了坚实基础。

（三）研发实力突出，产业转化进程快

公司研发实力突出。研发投入持续加码，2021-2025 年研发费用稳步增长，2024-2025 年维持 在 1.1 亿元以上，近三年平均研发投入 10,167.78 万元，最近三年研发投入占营业收入比例为 9.46%， 为技术创新提供了充足保障。公司研发强度较高、研发投入金额较大。2025 年末，公司研发人员人 数为 165 人，占员工总数的比例为 16.22%。公司研发人力资源投入充足。在专利获取方面，公司 专利产出稳定且质量较高，2021-2025 年持续获得发明专利授权，截至 2025 年 12 月 31 日，公司 累计储备专利 124 项，其中包含 103 项发明专利、1 项外观设计专利、20 项实用新型专利，构建了 坚实的技术壁垒。 公司拥有 8 项全自主研发且均已实现量产的核心技术，全面覆盖两大业务线。公司的在研项目 布局前瞻且聚焦主业，截至 2025 年末，8 项核心研发项目中 7 项处于测试验证阶段、1 项进入中试 阶段，覆盖半导体干式真空泵全工艺适配、尾气处理设备、高极限真空干泵、智能控制平台、分子 束外延设备及高端离子泵等关键方向，目标直指先进制程覆盖、性能指标突破、能耗降低与核心部 件自主化，项目推进节奏清晰，产业化落地可期。整体来看，公司以持续高投入推动关键技术攻坚， 研发方向紧扣半导体国产替代与高端科学仪器升级需求，技术成果转化能力突出，为巩固行业领先 地位、拓展高端市场提供了核心支撑。