2026年通用设备行业：真空泵，下游行业需求不断提升+国产替代，行业增长动能将持续增强

真空泵：制造行业及科学研究领域核心通用装备

真空泵是一类利用机械、物理、化学或物理化学方法对被抽容器进行抽气，以达成真空状态的器件或设备。作为真空获得设备的主要类型，真空泵的核心功能是获得、优化和（或）维持真空环境；其技术的核心在于建立低于大气压力的物理环境，并为在此环境下开展的工艺制作、物理测量及科学试验等活动提供技术支撑。因此，其被广泛应用于化工、食品、家电、光伏、光学、锂电池、半导体等制造行业及科学研究领域。

按照工作原理的不同，真空泵可分为气体传输泵和气体捕集泵两大类。其中，气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，按分类方式分为变容真空泵和动量真空泵。

1.1 干式真空泵：罗茨真空泵、螺杆真空泵、爪式真空泵

罗茨真空泵：一般分为直排大气罗茨泵(低真空)、中真空罗茨泵(又称机械增压罗茨泵)以及高真空多级罗茨泵。在罗茨真空泵泵腔内，有1对8字形或三叶形的转子相互垂直地安装在 1 对平行轴上，由1 对同步齿轮带动转子做同步反向旋转运动。在转子之间、转子与泵壳内壁之间保持一定间隙，可以实现高转速运行。

螺杆真空泵：通过齿轮传动，驱动相互啮合且无接触的左右两根螺杆实现同步反向高速旋转，利用泵壳与螺旋结构将螺旋槽分隔为多级独立空间。气体在等螺距柱形槽内仅输送、无压缩，仅于螺杆末端实现压缩，各级间压力梯度可分散压差并提升压缩比。由于螺杆真空泵的性能受间隙与转速影响较大，因此设计时需综合考量热膨胀、加工精度及含粉尘等工况环境。螺杆真空泵为高端制造行业市场的主流应用类型。在干式真空泵产品矩阵中，螺杆真空泵因在真空度、抽速、运行稳定性及能耗控制等核心性能指标上表现优异，已广泛应用于欧美日等发达经济体的微电子、半导体、制药、精密加工等高端制造领域，成为该类高要求场景下真空获得设备的主流应用类型。

爪式真空泵：目前使用的型式较多。其中，卧式爪式真空泵一般为单级结构，泵组可获得的真空度不高，多用于形成粗真空；立式爪式真空泵一般为 3 级或 4 级压缩，可获得较高的真空度。立式爪式真空泵采用泵腔逐级串联结构，各级泵腔内均设有一对共轭啮合、同步反向运转的爪型转子，转子之间及转子与泵壳均无接触；介质经转子吸入、压缩后逐级排出，其中第一级为吸气级，容积大于后续各级，可实现级间压缩。转子安装于两根平行轴上，由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间设有隔板并开设吸排气通道，设备通过同步齿轮传动并调整转子相位，以保证运行间隙稳定。

干式真空泵更适用于真空度及清洁度要求高的场景。液环式真空泵与干式真空泵在结构、工作原理、系统组成及适用工况上均存在差异。液环式真空泵适用于气量大、真空度要求较低及抽吸介质纯度要求相对不高的工况，而干式真空泵则适用于小气量、高真空及介质清洁度要求高的工况。

1.2 湿式真空泵：液环真空泵、旋转叶片真空泵

液环真空泵：如图 7 所示，圆形泵体（A）内，叶轮（B）安装在与泵体中心线呈偏心布置的轴上，叶轮转动产生的离心力迫使工作液通过通道（D）流向腔体周边形成环流液环（C）；泵工作时，被输送的气体混合物经中间板（E）上的吸入口（H）进入叶轮，在泵入口处形成真空并充入液环内径与叶轮叶片根部之间的叶轮腔，随着叶轮转动，叶片浸没在液环中的程度不断增加，使液环与叶片根部之间的容积减小，气体混合物受到压缩，直至到达中间板（K）处的排放口（J）后排出；在压缩循环过程中，热量会传递至液环，为将温度控制在工作液蒸发点以下，需持续向液环补充低温工作液，补充量与随压缩气体从排放口排出的工作液量相等，最终气体混合物与工作液经泵出口排出后实现分离。

液环真空泵具有结构简单易加工、紧凑高效、等温压缩、无金属磨损且密封简便、运行平稳易维修等优点，但同时也存在效率偏低、真空度受工作液限制以及封液易循环污染的缺点。

旋转叶片真空泵：由一个偏心安装的转子、内置弹性叶片及泵体构成。转子旋转时，叶片在离心力作用下伸展滑动，与泵体内壁紧密贴合，形成多个密封工作腔；靠近入口的工作腔体积逐渐增加，产生负压，吸入流体；靠近出口的工作腔体积逐渐减小，压缩流体并将其排出。

旋转叶片真空泵虽具有极限压力好、噪声小、应用范围广（真空度要求低的场景）等优点，但同时存在油封液污染、对腐蚀敏感、维修费用高、抽速范围受限等问题。因此，该类真空泵不适于抽除含氯过高、有爆炸性、对泵密封油起化学作用及含有颗粒灰尘的气体。

综合来看，湿式真空泵存在密封液供给、介质污染、废水处理、设备腐蚀、蒸汽压力受限（尤以液环泵为甚）、运行可靠性及使用成本等方面问题较为突出。因此，受上述因素共同制约，湿式真空泵在中高端领域的推广与应用亦受到一定限制。

1.3 蒸汽喷射真空泵

蒸汽喷射真空泵是具备一定压强的工作的真空泵设备，蒸汽通过拉瓦尔喷嘴，减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压，动通转化为压强能，为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。

下游行业加速发展+国产替代，推动市场需求释放

2034 年全球真空泵市场规模将达 105 亿美元。随着制造业、制药、电子及半导体等新兴产业需求不断提升，真空泵市场规模呈现出扩张态势。根据Global Market Insights Inc.最新的预测显示，2024 年全球真空泵市场规模估计为 65 亿美元，预计该市场规模将从 2025 年的69 亿美元增长至2034年的105亿美元，年复合增长率为 4.8%。

2030 年全球制药行业真空泵市场规模将达13.34 亿美元。根据QYResearch调研显示，2023 年全球制药用真空泵市场规模大约为9.41 亿美元，预计2030年将达到 13.34 亿美元，2024-2030 期间年复合增长率（CAGR）为5.2%。

2.1 下游行业需求不断提升，真空泵成长空间持续扩容

在全球各国共同推进清洁能源应用、降低碳排放的背景下，以光伏、新能源汽车为代表的新兴产业迎来了快速发展的黄金周期。随着下游市场需求的持续增长，也带动上游相关设备需求的释放，真空泵作为光伏加工过程中不可或缺的核心设备，因此迎来新的增量市场空间。2035 年全球光伏真空泵市场规模将达 42 亿美元。在晶硅太阳能电池生产过程中，晶体生长和电池片制造工序均需要干式真空泵提供真空环境。根据Wise Guy Reports 的统计数据，2024 年全球光伏真空泵市场规模为23.5亿美元；预计该市场规模将从 2025 年的 24.7 亿美元增长至2035 年的42 亿美元，期间CAGR 约为 5.44%。

2.2 国产替代：半导体领域替代意愿增强，带来发展新机遇

2026 年全球半导体设备总销售额将达 1381 亿美元。除医疗行业推动全球真空泵市场需求稳健增长外，电子与半导体行业在技术革新驱动下快速发展，成为真空泵市场需求增长的核心驱动力。据SEMI《年中总半导体设备预测报告》显示，2025 年全球原始设备制造商（OEM）的半导体制造设备总销售额预计将达 1255 亿美元，同比增长 7.4%，创下历史新高；2026 年，总销售额有望进一步攀升至 1381 亿美元，同比增长 10.04%，实现连续三年增长。这一增长态势主要源于先进逻辑芯片技术升级、存储器领域技术迭代的持续推动。此外，SEMI 预计 2026 年中国大陆、中国台湾和韩国仍将位列全球半导体设备支出前三，其中中国大陆持续领跑全球。

编辑：火腿肠