中科仪：半导体真空系统“卖铲人”，产业+科研双轮驱动

半导体真空系统国产化需求迫切

先进制造和科研广泛依赖真空技术，在集成电路各制程中，干式真空泵是实现真空环境所必需的零部件。2024年，在真空系统类零部件所应用的光刻设备、量/检测设备、离子注入设备等领域国产化率不到10%，在薄膜沉积设备、刻蚀设备等领域国产化率也不到40%，国产化需求迫在眉睫。据沙利文估算，中国市场半导体设备类零部件国产化率预计将持续增长，2029年或将达12.4%。干式真空泵是集成电路制造工序中提供真空环境的核心附属设备，干式真空泵必须在真空压力稳定性、抗腐蚀性、可靠性、紧凑性及功耗等方面满足集成电路产业的工艺需求。

中科仪深耕真空技术，形成“双轮驱动”业务体系

中科仪深耕真空科研仪器行业，在洁净真空、超高真空领域形成了大量技术工艺积累，为干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块的发展奠定了坚实基础。2025年，公司营业收入达到12.91亿元，同比增长19.30%；归母净利润为8.44亿元，同比大幅增长337.77%，整体盈利水平保持稳健。2025年公司毛利率为26.78%，净利率达65.35%，利润率可观。公司始终保持高强度研发投入，2024至2025年研发费用均约1.1亿元。公司搭建了真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心等多个国家级创新平台，已掌握干泵测试、无油真空获得及精密加工技术等八大核心技术，有力推动半导体真空装备关键技术加速突破与国产化落地。

国产替代先锋，唯一实现全工艺批量应用

公司是我国集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，目前公司已形成干式真空泵与真空仪器设备为主的“双轮并行”业务体系。截至2025年12月31日，公司拥有发明专利103项。公司配套长江存储、长鑫科技、北方华创并通过台积电、SK海力士等国际头部客户验证，成长空间广阔。