盛剑科技：立足废气治理，打造半导体厂务系统服务商

算力基建驱动厂务设备需求爆发

在全球AI算力需求持续增长的背景下，半导体晶圆厂大幅扩产成为必然趋势。随着工程推进，通胀压力正由洁净室环节向厂务设备环节传导，导致海外厂务设备出现供给缺口。厂务设备作为洁净厂房的环境支持系统，虽不直接参与芯片加工，但对产线稳定运行至关重要。国产厂务设备在性能上与海外厂商差距较小，且在重资产制造、模块化预制和交付响应方面具备灵活性，产能储备充足，有望实现出海突破。

特种风管出海“0-1”突破

废气处理是半导体生产的刚需环节，特种排气风管是其中的核心组件。由于人力、材料及环保合规成本制约，海外特种风管厂商主观上无增产意愿，客观上无扩产能力。面对新建晶圆厂的特种风管供给缺口，EPC承包商或系统集成商不得不打破本地采购惯例，集中向中国特种风管厂商采购。盛剑科技作为半导体废气治理龙头，特种风管产品拥有FM双认证，当前产能储备充足，有较大增产空间，有望充分受益下游需求释放。

核心设备加速迭代验证

公司产品不断向洁净室内部延伸，已布局工艺废气处理设备、真空设备及温控设备。在先进逻辑芯片多重模板工艺和先进存储芯片3D堆叠工艺的推动下，沉积、刻蚀等需求大幅提升，带动配套真空、废气处理、温控设备需求量显著增加。国产Local Scrubber和温控设备在成熟制程产线已基本实现高比例替代，国产化率快速提升。海外真空设备出现供给缺口，为国产真空泵厂商打开宝贵替代窗口。公司产品性能对标国际一线水准，新产能正式投产，核心产品已进入海内外头部客户产线验证阶段，订单有望逐步兑现。