中科飞测主要产品、股权结构及财务分析

大陆量检测设备领先厂商，产品种类丰富。

1. 业务介绍：推出 6 种量检测设备，应用于前道制程和先进封装

中科飞测专注于高端量检测设备，产品种类丰富。中科飞测主营产品为 检测和量测两大类半导体专业设备，自 2014 年成立以来，陆续实现多 项突破。1）从产品种类来看，目前公司已推出 6 大产品种类，分别是 无图形晶圆检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、3D 曲面玻璃量测设备、 三维形貌量测设备、套刻精度量测设备和薄膜膜厚量测设备，对应的量 检测设备市场空间占比为 27.2%，同时公司正在研发纳米图形晶圆缺陷 检测设备、晶圆金属薄膜量测设备等。2）从产品工艺节点来看，公司 已量产多款 28nm 及以上量检测设备，2Xnm 套刻精度量测设备正在验 证，已取得客户订单，1Xnm 无图形晶圆检测设备处于研发中，公司产 业化进程处于国内领先地位。

公司主营产品应用于下游集成电路前道制程和先进封装。公司主营产品 为面向集成电路前道制程和先进封装的质量控制装备。前道检测主要是 以光学和电子束等非接触手段，针对光刻、刻蚀、薄膜沉积等制造环节 的质量控制。先进封装属于中道检测对象，主要是以光学等非接触式手 段控制布线结构、凸点与硅通孔等制造环节的质量。此外，后道封测环 节也需要质量控制装备，公司并未涉及。目前公司的质量控制设备主要 分为检测设备和量测设备两大类。 1）检测设备：检测设备的主要功能是测试晶圆表面或电路结构中是否 出现异质结构，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对于芯片工艺功能具有不良影响的特 征性结构缺陷。主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列 和图形晶圆缺陷检测设备系列。 2）量测设备：量测设备的主要功能是对被观测晶圆电路上的结构尺寸 和材料特性，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参 数测量。在精密加工领域，量测设备主要用于精密结构件的三维尺寸量 测。主要包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、3D 曲面玻璃量测 设备系列。

2.股权结构：背靠顶尖科研机构，众多产业、战略投资者

实控人为 CHEN LU 和哈承姝夫妇，股权激励有利于激发团队积极性。 截至 2023 年 2 月中旬，中科飞测实控人为 CHEN LU（陈鲁）、哈承姝 夫妇，通过持有苏州翌流明和小纳光直接持有公司股份，共同控制公司 30.54%的股份，为公司第一大股东。CHEN LU（陈鲁）先生担任公司 董事长，同时也是公司核心技术人员，哈承姝女士担任公司董事兼总经 理。此外，国投科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）持股比例为 15.19%，顶尖科研机构中科院微电子所持有公司 4.84%的股份，产 业投资者哈勃持股 3.30%，中芯国际间接持股公司 2.42%的股份。实控 人 CHEN LU 先生带领团队致力于质控设备技术创新，深耕于光学检测 技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域，不断提高设备灵敏度、 重复性精度等功能性指标，使得大陆产品达到国际先进水平。目前中科 飞测通过小纳光（有限合伙）作为员工持股平台，实现了对于核心团队 人员的股份激励。董事、监事，高级管理人员和核心技术人员均持有一 定比例的公司股份，充分激发团队积极性。

设立多家子公司分别负责质控设备的研发、销售、原材料设备采购等环 节。公司多家子公司分别承担高端质量控制设备的研发、销售、原材料 设备采购等工作。厦门飞测负责与销售相关的客户服务支持工作，广州 飞测、北京飞测、上海飞测负责设备的研发和生产，在光学检测技术、 大数据检测算法和自动化控制软件等领域不断创新。香港飞测负责关键 零部件的采购和设备销售；公司于 2022 年再度设立成都飞测和武汉飞 测两家公司，目前暂未开展业务。

3. 财务情况：业务规模持续扩张，研发项目稳步推进

近年来整体营收快速增长。近四年内，公司整体营收呈上行趋势， 2019-2022 年，公司营收分别为 0.56/2.38/3.61/5.09 亿元，保持较高的 增长率，这主要是源于公司掌握的高端量检测设备核心技术维持主营业 务收入的不断增长以及产品日益丰富引发的客户需求增加。

检测设备口碑效应明显，带动营收快速增长。公司在量检测设备的核心 技术上突破了国外垄断，填补了大陆高端半导体量检测设备的市场空白。 公司在 2019-2022 阶段检测设备营收迅速增长，占比不断增加，检测设 备在近四年内为公司主要营收来源，占营收比重平均 65%以上。检测设 备销量快速增长。主要有三部分的原因：1）检测设备通过下游知名客户验证后，口碑效应明显，产品迅速获得市场认可。2）公司持续对各系列 设备进行优化升级，逐步进入高端市场，使得产品销售均价呈现上升态 势。其他业务收入主要为备品备件销售收入和劳务服务收入，该部分占 总营收比例较低。3）以 2020 年为例，检测设备市场规模占量检测设备 总体市场规模的 62.6%，占比较高，市场空间比较大。

检测设备销售占比提升，型号升级带动毛利率持续攀升。1）毛利率： 2019-2022 公司毛利率为 33.9%/41.12%/48.96%/48.67%，整体呈现上 升趋势，其变动主要来自产品结构变动和主要产品毛利率的波动。公司 主营业务收入主要来自检测设备，2019-2020 期间，毛利率上升主要来 自于检测设备 SPRUCE-800 型号销售占比提升。2020-2021 期间， SPRUCE-800 销售占比提升、检测设备 BIRCH-100、量测设备 CYPRESS-T910 单价提升同时成本下降，公司毛利率上升。2）净利率： 2019-2022 净利率为-174.1%/16.7%/14.8%/2.31%，2019 年净利率为 负，系股权激励计划中一次性计入股利支付金额较大，研发项目初期原 材料费用较高。2020/2021 年净利率转负为正，2022 年多项研发项目加 大投入，研发费用较高，净利率降低。

销售规模持续扩大，研发费用快速增长。2019-2022 年期间费用率分别 为 245.5%/37.7%/45.2%/62.66%,整体呈现下降趋势。1）销售费用： 2019-2021 年期间公司销售费用率分别为 21.5%/7.8%/8.8%，其变动主 要是由于公司销售规模变化导致各项费用发生改变。2022 年上半年提升至 17.92%主要是由于公司当期收入规模较小以及销售人员数量增长较 快。2）研发费用：2019-2022 年研发费用分别为 0.56/0.46/0.95/2.06 亿元，占比 100.01%/19.43%/26.36%/40.40%,整体呈现先降后升趋势， 19 年研发费用较高系项目初期研发样机材料费用较高，后续项目逐渐优 化，该类费用下降。22 年该比率出现大幅度增长，其原因在于公司开展 纳米图形晶圆检测设备、14-10 纳米无图形晶圆缺陷检测设备等研发项 目，材料费用上涨。3）管理费用：公司 2019-2022 年管理费为 0.68/0.25/0.40/0.60 亿元，占比为 120.9%/10.7%/11.02%/11.79%，公 司 19 年管理费用较高系员工股权激励一次性计入股份支付费金融较大， 19 年股份支付费用为 0.48 亿元。之后在 20-22 年恢复正常水平。4）财 务费用：2019-2022 年，公司财务费用为 0.018/-0.005/-0.035/-0.005 亿 元，占比为 3.15%/-0.21%/-0.97%/-0.09%，报告期内财务费用波动较大， 系借款规模变化导致的利息费用、汇率波动以及新租赁准则等因素综合 影响。

专注攻克核心技术，盈利增速不及营收。2019-2022 年，公司扣非净利 润分别为-0.72/-0.01/0.03/-0.88 亿元。相较于营收规模及增速，公司扣 非净利润规模较小、增速较缓。公司持续进行技术研发，开展多项量检 测设备领域核心技术研究。2019 年，项目初期，资金主要投入样机设备 搭建。股权激励计划提升管理费用。2020-2021 年，各类员工队伍迅速 扩张及销售规模进一步扩大，销售费用，管理费用均由有上升态势。2022 年上半年，公司开展纳米图形晶圆检测设备、14-10 纳米无图形晶圆缺 陷检测设备等研发项目，研发投入再次上升。三费综合变动导致公司在 19-22 年扣非净利润上升幅度缓慢。但在当前研发项目未来投产之后， 有望迅速占领产品市场，带动扣非净利润快速回升。