中微公司发展历史、股权结构及盈利能力分析

国产集成电路制造高端设备领军者。

1.专注于集成电路和泛半导体微观加工，客户覆盖全球知名企业

中微半导体设备（上海）股份有限公司是国内服务于集成电路和泛半导体行业的 微观加工高端设备公司。公司主营等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备以及空气净 化设备等的研发、生产和销售，其产品覆盖了半导体集成电路制造、先进封装、 LED 生产、MEMS 制造等领域。尤其聚焦小线宽先进制造刻蚀领域，成功打入国际 先进生产线，为国产刻蚀设备的发展提供了有力支撑。

中微公司成立于 2004 年，2004 年 5 月，中微亚洲出资创立中微有限，并于同年 8 月推出了首台甚高频等离子体刻蚀机；2007 年 6 月，公司研制成功首台 CCP 刻蚀 设备；2011 年 9 月，CCP 设备进入 45nm 生产线；2012 年 11 月，公司首台 MOCVD 设备 Prismo D-BLUE 研制成功；2013 年 6 月，CCP 设备进入 22nm 生产线；2016 年 11 月，公司首台 ICP 设备研发成功；2017 年 7 月，CCP 设备进入国际先进 7nm 生产线；2019 年 7 月，中微登陆科创板上市。

中微第一大股东为上海创业投资有限公司。截至 2022 年，上海创业投资持股比例 15.64%，隶属于上海国资委；第二大股东巽鑫投资持股 15.15%，隶属于国家大基 金。其他主要股东中，中国香港中央结算有限公司持股 5.52%，嘉兴智微企业管 理合伙企业、advanced Micro Fabrication Equipment Inc. Asia、国家集成电 路产业投资基金二期、诺安成长混合型证券投资基金持股比例分别为 4.97%、 4.03%、3.97%、2.9%。

中微主要为集成电路、LED 芯片等产品制造企业提供刻蚀设备、MOCVD 设备以及其 他设备。主要产品包括 CCP 电容性刻蚀机、ICP 电感性刻蚀机、MOCVD 设备以及 VOC 设备。CCP 电容性刻蚀机主要用于集成电路领域氧化硅、氮化硅及低介电系数 膜层等电介质材料的刻蚀，ICP 电感性刻蚀机主要用于集成电路中硅材料的刻蚀 及金属刻蚀，MOCVD 设备主要应用于 LED 外延片及功率器件的生产，VOC 设备则主 要应用于平板显示生产线等工业用的空气净化。

中微公司客户覆盖全球知名企业。高端设备应用于全球主流晶圆厂商。刻蚀机主 要客户包括台积电、英特尔、联华电子、格罗方德、海力士、意法半导体、华力、 华虹、中芯国际、博世、长江存储、长鑫存储等，2019 年公司 CCP 刻蚀机进入了 台积电 5nm 产线，2020 年至 2022 年与长江存储开启了深度合作。MOCVD 主要客户 包括三安光电、晶元光电、华灿光电、乾照光电、三星、兆驰股份等知名 LED 企 业。

中微公司实际控制人系核心技术人员。公司 CEO 尹志尧博士深耕半导体行业近 40 年，曾任职于应用材料、泛林等国际知名大厂近 20 年，有力推动了等离子体刻蚀 设备的快速发展。司副总裁杜志游博士曾任 Praxair Inc 董事总经理、梅特勒- 托利多上海子公司总经理，有丰富的行业经验和公司管理经验。公司副总裁倪图 强博士曾在泛林半导体担任技术总监，是 Lam2300 系列刻蚀产品的发明者之一。 公司其余多位董事高管也具有半导体相关学术背景与工作履历，具备丰富的行业 经验。

全球化人才招募不断提速，专业人才占比提升。中微公司在人才招募方面遵循全 球化的发展战略，目前管理层来自 6 个不同国家和地区，外籍员工占比达到了 9%， 截至 2021 年，公司共有员工 1048 人，随着营收规模增长，公司人才招募趋向于 高端化、专业化。公司共有研发人员 415 人，占公司员工比例的 39.6%，其中博 士人数 77 人，硕士人数 127 人，分别占比 18%和 31%，本科及以上人数高达 92%。

2.刻蚀设备与MOCVD双向并行，盈利能力比肩国际大厂

刻蚀设备与 MOCVD 双向并行，公司盈利能力持续提升。随着公司刻蚀设备和 MOCVD 设备技术不断成熟，产品的市场认可度逐渐升高。公司 2017 年实现净利润扭亏为 盈，营业收入逐年快速增长，公司 22 年预计全年实现营收 47.4 亿元，同比增长 52.5%，实现归母净利润区间为 11.70 亿元，同比增长 15.66%；实现扣非归母净 利润 9.19 亿元，同比增长 183.44%。 毛利率方面，主营业务中刻蚀设备毛利率基本持平，接近 45%；MOCVD 设备毛利率 先降后升，在 2017-2020 年呈下降趋势，原因是 2017 年公司为推广新型 MOCVD 设备 Prismo A7，采用较优惠的价格开拓市场，拉低了毛利率。21 年推出的 Unimax MOCVD 设备以出色的性能在市场获得了很好的议价能力，带动毛利率快速回升。

公司业务收入主要来源于专用设备销售、备品备件销售以及服务收入三个部分， 其中专用设备销售收入占比约 80%。2021 年，公司专用设备销售额 25.07 亿元， 同比增长 39%，备品备件销售额 5.56 亿元，同比增长 25%，主要业务收入维持高 增速。业绩进入高速增长期，盈利能力比肩国际刻蚀大厂，高于行业平均。2019-2021 年，公司净利与毛利率均迅速上升：2021 中微毛利率 43.36%，净利率 32.54%， 接近国际一线刻蚀大厂 LAM（毛利率 46.53%，净利率 26.72%）与 TEL（毛利率 40.38%，净利率 17.36%）水平，高于行业平均水平（毛利率 42.38%，净利率 17.95%