微导纳米竞争优势体现在哪？

研发团队实力雄厚，以 ALD 核心技术为 基点多元布局。

1、 核心研发团队实力雄厚，研发投入与转化效益高

公司自成立以来，不断吸纳海内外优秀人才，形成技术深厚、管理经验丰富的核 心技术团队与管理层，指导公司进行有效的产品开发与技术研发战略规划。在中国半导体制程设备国产化率偏低、晶圆厂认可度不高的环境下，我们认为将 ALD 技术应用到半导体领域的新兴薄膜沉积设备厂商自初创起需要面临“生存”、“成 长”、“初心”三大难题。公司致力于打造成为 ALD 技术平台公司，并推动 ALD 设备在半导体领域的国产化，公司创始人团队拥有深厚的半导体 ALD 工艺技术 研发与量产导入经验，CTO 及共同创始人 LI WEI MIN 博士曾在芬兰赫尔辛基大 学师从 ALD 技术发明人，自 1994 年开始 ALD 技术工作，先后在 ASM 国际、 Silecs、Picosun 等国际知名 ALD 设备公司任职，工艺理解深厚，对薄膜材料, 工 艺和设备技术在半导体、MEMS、传感器、平板显示器、光伏等产业化应用具有 丰富的经验。

公司研发投入在产品与工艺的突破升级表现显著，展示公司强大的研发效益转换 能力。公司目前已形成包括原子层沉积反应器设计、高产能真空镀膜、真空镀膜 设备工艺反应气体控制、纳米叠层薄膜沉积、高质量薄膜制造、工艺设备能量控 制、基于原子层沉积的高效电池技术七大自主研发的核心技术，有效解决 ALD 的多领域适用性、生产效率与生产成本问题。利用这七大核心技术设计的产品销 售收入占营业收入比重自 2019 年以来始终维持在 90%以上，2022 年上半年为 97.79%。

2、 光伏订单放量，基本盘稳固为半导体研发赋能

公司成立初期，国内晶圆厂产线半导体设备进口主导，优秀国产设备公司尚未崛 起，光伏新能源需求增加，电池技术进入加速迭代阶段。半导体设备研发验证周 期长，导致研发投入回报周期长，为适应市场环境，公司 ALD 设备率先用于光 伏电池片，迅速打开光伏市场，为公司积攒充足现金流。2022 年公司光伏设备 收入 5.01 亿元，2022 年末光伏设备在手订单 19.67 亿元，2023 年初至 2023 年 4 月 25 日，公司新签光伏设备 20.16 亿元，与 2022 年末在手订单相当，可 见光伏放量加速。2023 年 TOPCon 扩产节奏加快，我们预计验收确认节奏相对 会加速，为公司提供坚实的基本盘，赋能半导体事业发展。

3、 ALD 技术具平台延展优势，布局 CVD 打开成长空 间

公司核心技术 ALD 工艺具备优异到均匀性与一致性，应用潜力广泛。ALD 技术 作为一种具有普适意义的真空镀膜技术，由于其超薄的膜厚、极高的均匀度及优 异的三维共形性，使其在更微观的纳米级别可产生诸多特殊性质，在柔性电子等 新型显示、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的产业化前景， 为公司后续发展提供广阔空间。

以 ALD 技术为核心，差异化布局 CVD 等多种真空镀膜梯次产品。公司凭借现有 薄膜沉积类产品研发与产业化经验，差异化开发多种 CVD 真空镀膜产品。微导 纳米以差异化策略布局部分 CVD 工艺段，有利于建立 CVD 领域市场地位。据微 导纳米 2022 年年报援引 SEMI 预测数据，CVD 约占镀膜板块的 57%市场份额， 远高于 ALD 11%左右的市场份额，CVD 设备的布局将为公司打开成长空间。