富创精密主要产品包括哪些？

以下介绍的是富创精密四类产品的差异对比。

工艺零部件是半导体设备晶圆制备工艺的关键零部件，需要经过高精密机械制造和复杂表面处理等工艺，主 要用在刻蚀、薄膜沉积设备上，公司的代表性产品包括腔体、内衬和匀气盘，2021 年营收占比约为 21.50%；

结 构零部件一般起到支撑物理结构的作用，种类繁多差异较大，目前被应用于半导体设备、面板及光伏等泛半导体 设备领域，代表性产品是托盘轴、流量计底座等，2021 年营收占比约为 42.44%；

模组产品是通过上述两种零部 件，加上外购电子、机械标准间组装而成的，在半导体设备中需求较大，细分产品价格差异可能达到数十倍，主 要模组有刻蚀阀体模组、离子注入机模组等，2021 年营收占比约为 19.44%；

气体管路是用来传送特殊工艺气体 到特定反应腔的输送管道，在各种半导体设备上均会使用到，2021 年营收占比约为 16.62%。