炬光科技激光产品主要包含哪几类？

从应用领域来看，炬光科技产品主要包含激光剥离和激光退火两大类。

1.激光剥离：柔性 OLED 生产关键环节

激光剥离（Laser lift-off，LLO）通常用于分离两层不同材料构成的薄膜，可应用于 OLED、LED、半导体晶圆等多个领域。

OLED 显示领域，激光剥离是柔性 OLED 面板生产中的关键工艺流程之一。OLED 显 示面板虽然是柔性面板，但往往需要先有一块大型玻璃基板，然后在玻璃基板上沉积一层 柔性有机聚合物薄膜，此后再在这层薄膜上进行 OLED 及其控制电路（薄膜晶体管）的沉 积和加工。聚合物薄膜上层这些加工完成后，有两种处理方式，第一种是保留玻璃基板， 此时显示面板就成为刚性显示面板，通常用在中低端机型上；第二种是去除玻璃基板，此 时显示面板将可以自由弯曲，即柔性显示面板，通常用在中高端机型上，如现在的折叠屏、 瀑布屏都采用柔性显示面板。

在生产线中，通常利用激光从玻璃基板背面进行照射，利用激光能量实现玻璃基板与 OLED 器件的分离。为了提高效率，通常采用线光斑或面光斑对整个基板进行快速扫描。

在柔性显示激光剥离领域，炬光科技可提供线光斑和面光斑解决方案，能够根据特定 应用需求设计和制备不同长度（从数百微米至数米长）、宽度（从数十微米至数毫米宽） 和长宽比（高达 3 万比 1）的光斑形状，功率密度可达到百万瓦每平方厘米，均匀度大于 95%，提高了各类激光器的工作效率、普及率及可用性。公司固体激光剥离紫外线光斑系 统已取得国际主流面板厂商生产线中初步市场份额。公司已经为为韩国 LG 电子、京东方 （直接客户为集成商韩国 APS）、日本夏普（直接客户为集成商韩国 DE&T）等国际知名 半导体和平板显示设备制造商提供固体激光剥离紫外线光斑系统。2021 年上半年公司再 次对 LG 进行出货，展现出一定的竞争力。

而近年来，随着消费电子产品在屏幕端不断改进，新的产品形态更多，采用柔性屏的 终端产品数量显著增加，这一趋势在手机端尤其明显。因此激光剥离设备的需求量有望大 幅增加，炬光科技有望从中受益。

2.激光退火：LTPS 面板与半导体晶圆生产必备

退火（Annealing）是一种广泛存在于各类材料加工中的工艺（在炼钢、单晶硅棒的制 造、瓷器制造等场景都有应用），即将材料加热到一定温度，保持一定时间，随后以一个 适宜的速度进行冷却。这一过程的目的在于，高温能够让材料内部粒子之间的化学键不再 稳定，从而能够产生内部结构的变化；而随后以特定速度进行冷却的过程，就是让原子之 间的化学键按照一定速度逐渐恢复，从而完成材料内部结构的调整。这一过程可用于消除 材料内部的应力和缺陷，增加材料延展性，稳定材料尺寸，减少内部裂纹，使材料便于切 削加工等。

半导体芯片在经过离子注入以后就需要退火。因为往半导体中注入杂质离子时，高能 量的入射离子会与半导体晶格上的原子碰撞，使一些晶格原子发生位移，结果造成大量的 空位，将使得注入区中的原子排列混乱或者变成为非晶区，所以在离子注入以后必须把半导体放在一定的温度下进行退火，以恢复晶体的结构和消除缺陷。同时，退火还有激活施 主和受主杂质的功能，即把有些处于间隙位置的杂质原子通过退火而让它们进入替代位置。

显示面板的薄膜晶体管加工流程中也经常需要进行退火，这也是激光退火最常用的场 景之一。具体来说，是用于给显示面板中的薄膜晶体管电路进行退火。显示面板由诸多像 素构成的网格阵列组成，而每一个像素除了发光点之外，还有背后的诸多晶体管所构成的 控制电路，用来控制这个像素的工作。在显示面板中，这些晶体管都做得很薄，但长宽尺 寸比 CPU 中的电路要明显更大，因此一般称为薄膜晶体管（Thin-film transistor，TFT）。