半导体设备零部件分类有几种?

半导体设备零部件分类有几种?

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匿名用户编辑于2022/10/13 09:49

按照各类零部件在设备上的不同功能,可其大致分为机械加工件类、物料传送类、电气类、 真空类、气液输送类、光学类、热管理类等。按照零部件在各类半导体设备中适用性的不同,又可将上述各类零部件分为通用型和专用 型两类。专用型零部件一般仅用于一类半导体设备,通用型零部件适用于两类及以上半导 体设备,各类半导体设备中有较多通用性零件。

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