半导体薄膜沉积设备产业研究：市场空间广阔，国产设备商百花齐放.pdf
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- 时间：2021/09/09
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半导体薄膜沉积设备产业研究：市场空间广阔，国产设备商百花齐放。薄膜沉积设备是半导体制造核心工艺设备之一，价值量高、需求占比大。根据 SEMI，薄膜沉积设备占到晶圆制造设备投资额的 25%。展望未来，晶圆厂扩产增效、先进制程逻辑芯片出货占比提升、3D NAND堆叠层数增加等因素将带动薄膜沉积市场持续扩容。目前薄膜沉积技术以 PVD 与 CVD 相互补充，路线、材料多元化。化学气相沉积（CVD）是占比最高的沉积设备，设备需求大、技术路线多，市场格局相对分散，其中以等离子体 CVD 和原子层沉积 ALD 最具看点。
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