微导纳米:本土ALD龙头,战略发展半导体前景广阔.pdf

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  • 时间:2026/01/09
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微导纳米:本土ALD龙头,战略发展半导体前景广阔。本土 ALD 设备龙头厂商,半导体业务战略性发展。公司成立于2015年,以ALD/PECVD 等薄膜沉积技术起家,成立初主要业务覆盖光伏领域,2018年开启半导体领域设备研发,半导体业务从 2021 年开始贡献收入并进入快速发展阶段,截至目前已形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。在半导体领域,公司聚焦ALD 设备并持续拓宽技术平台,目前已拓展至 CVD 等更广泛的薄膜沉积领域,后续将逐步拓展至更多领域。在光伏领域,公司率先实现 ALD 技术在光伏电池生产的规模化应用,是高效电池技术与设备领军者,相关产品市场份额连续多年位居国内同类企业第一,持续引领行业技术迭代。

半导体业务:聚焦 ALD 技术,CVD 持续突破。薄膜沉积为半导体晶圆制造中的核心设备,24 年国产化率约 18%,仍极不充分。其中随着先进制程的结构3D化、材料复杂化、深宽比持续上升,ALD 成为能满足这些要求的重要沉积方式。公司在2020年率先研制出国内首台量产型 High-k 原子层沉积设备,成功应用于28纳米制造节点。公司当前已涵盖了行业所需主流 ALD 薄膜材料及工艺,相关产品可覆盖逻辑、存储、先进封装、化合物半导体、新型显示(硅基 OLED 等)等诸多细分应用领域。同时公司积极拓展至 CVD 领域设备,CVD 设备在硬掩膜等关键工艺领域已实现产业化突破,其中 PECVD 已实现产业化应用,LPCVD 已进入产业化验证阶段。从订单规模看,半导体业务快速发展,25Q1-Q3 公司合计新签半导体业务订单14.83亿元,yoy+97%,处于快速发展阶段,其中大部分订单均来自于 NAND 和DRAM领域头部客户。

光伏业务:光伏领域 ALD 龙头,静候景气回升。公司光伏领域ALD产品的营收规模、订单总量和市占率方面连续多年占据国内第一,有良好的业务基础。未来在光伏发电成本持续下降和新兴市场需求增长等有利因素的推动下,全球光伏新增装机仍有望持续增长,光伏市场有望明后年逐步复苏,新型电池技术路线正逐步成为电池技术的主要发展方向。公司当前已覆盖 TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等新型电池技术路线。同时,ALD 也有望解决固态电池产业化难点,打开新的应用空间。2025年国内固态电池出货量预计是 10GWh,到 2028 年有望增长至30GWh,期间CAGR达44%。渗透率来看,全球固态电池渗透率当前较低,有望在2030 年达到10%,若公司 ALD 技术可应用于固体电池,该领域未来或有望成为公司业务的第三大组成部分。

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