碳化硅行业专题研究报告:碳化硅衬底,新能源与5G的基石
- 上传者:潘娴
- 时间:2021/03/02
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碳化硅行业专题研究报告:碳化硅衬底,新能源与5G的基石。碳化硅衬底是第三代半导体材料中氯化镓碳化硅应用的签石。受技术与工艺水平限制氮化镓材料作为衬底实现规模化应用仍直临挑战,其应用主要是以蓝宝石、硅晶片或半绝緣碳化硅最片为衬底,通过外延生长氮化镓以制造氮化镓器件,主要应用于宏基站通信射频领城;而碳化硅材料则主要以在导电型碳化硅衬底上外延生长碳化硅外廷层,应用在各类功率器件上,近年来随著技术工艺的成熟、制备成本的下降,在新能源领域的应用持续渗透。
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