半导体设备专题研究报告：半导体设备国产化之离子注入机行业研究.pdf
- 上传者：B*******
- 时间：2021/08/19
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2021 年 IC 离子注入机的全球市场规模约 24-26 亿美元，预计未来将达到30-40 亿美元。全球离子注入机主要被美国应用材料、美国亚舍立科技垄断，国内厂商仅有万业企业旗下的凯世通、中科信在某些 12 寸晶圆产线上获得工艺验证，国内外离子注入机的行业集中度十分高。
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