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珂玛科技研究报告：先进陶瓷零部件核心国产供应商，陶瓷加热器开启加速放量。营收CAGR2019-2023>28%，先进陶瓷材料零部件+泛半导体设备表面处理驱动成长。公司成立于2009年，主要从事先进陶 瓷材料零部件的研发、制造、销售、服务以及泛半导体设备表面处理服务，拥有由氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化 钇和氧化钛6大类材料组成的先进陶瓷基础材料体系，是国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业。公司主要产品 及服务包括先进陶瓷材料零部件、表面处理和金属结构零部件。公司2019-2023年的营收CAGR超过28%，主要先进陶瓷材 料零部件与泛半导体设备表面处理业务驱动成长，2024年前三季度公司实现营收6.2亿元，其中陶瓷部件5.5亿元（其中最新 量产模组产品占36%），表面处理6600万元。

公司重点研发陶瓷加热器、静电卡盘、超高纯碳化硅套件，全球市场需求超百亿元，国产替代空间广阔。在半导体设备领域， 公司是国际头部半导体设备厂商A公司的全球供应商，是世界著名的热产品和技术解决方案供应商WATLOW的供应商。随着 半导体设备国产化趋势，公司已成为主流国产半导体设备厂商包括北方华创、中微公司、拓荆科技、上海微电子和芯源微等 的主要核心陶瓷零部件供应商。前期公司通过陶瓷结构零部件，进入半导体设备厂商；中期承接02专项，实现陶瓷加热器技 术的突破；2024年开始陶瓷加热器实现国产替代，陶瓷加热器已有多款型号装配于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设 备等，装配于刻蚀机的8寸型号静电卡盘也已经量产。保守估计2023年全球陶瓷加热器、静电卡盘、超高纯碳化硅套件市场 需求分别在42-57、36-42、15-19亿元，合计超百亿市场，其中日企占据主要份额，随着国产设备厂商的不断发展，零部件 国产替代空间广阔。公司将进一步完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品，并重点研发突破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件。

26E中国泛半导体设备零部件表面处理服务市场规模75亿元，公司聚焦显示面板，逐步建成半导体表面处理产能。表面处理 方面，公司具备对氧化铝、氮化铝、氧化钇等各基材先进陶瓷材料和金属材料等零部件的表面处理能力。公司在洗净再生处 理洁净度、熔射后使用寿命和大尺寸零部件熔射等方面处于国内领先水平，且表面处理综合服务方案提供能力较强。根据弗 若斯特沙利文数据，2021年公司在中国大陆显示面板表面处理市场份额约6%，其中在显示面板刻蚀细分领域的市场份额约 为14%。公司表面处理业务主要是清洗和喷涂，目前公司主要的下游是面板厂商，未来需求相对稳定，同时公司也在逐步建 成半导体表面处理产能。