半导体设备零部件行业研究报告：半导体设备之磐基，国产替代正当时.pdf

半导体设备零部件行业研究报告：半导体设备之磐基，国产替代正当时。零部件是半导体设备产业链的基石，各子赛道组成百亿美元市场。半导体行业 遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续摩尔 定律的关键所在，其中半导体设备零部件作为设备关键构成要素，是半导体行 业发展的关键支撑。半导体设备零部件产品种类繁杂多样且验证周期长，行业 技术、客户壁垒高企。据我们测算，全球半导体设备零部件市场2024年规模 有望超过540亿美元，其中中国大陆市场规模约为187亿美元。根据富创精 密招股说明书数据，机械类、电气类、机电一体类、气液真空系统类、仪器仪 表类及光学类占半导体设备零部件市场的比例分别为12%、6%、8%、9%、1% 和8%。展望未来，AI等新兴应用的发展将助力半导体市场规模持续增长，进 而带动晶圆厂设备支出、设备零部件市场规模不断提升。

周期复苏明朗&国产替代正当时，半导体设备零部件行业迎来发展窗口期。 2024年以来，消费电子等终端需求持续改善叠加AI、汽车电子等驱动行业革 新，半导体行业周期复苏趋势明朗，行业需求回升促使全球晶圆厂持续扩产， 带动设备支出增长，根据SEMI预测，2024年全球晶圆厂设备支出将提升至 1130亿美元。外部政策方面，海外管制层层加码，2024年12月2日，美国将 多家中国半导体企业列入实体清单，其中包括：北方华创、拓荆科技、芯源微 等多家半导体设备公司，半导体设备零部件国产替代紧迫性显著提升；与此同 时，我国政策持续发力，2024年5月成立的国家大基金三期有望加大对核心 技术和关键零部件的支持力度。周期复苏、国产替代、政策支持等多重利好共 振，国产半导体设备零部件产业链有望迎来加速发展窗口期。

半导体设备关键零部件市场竞争格局较为集中，国产厂商凭技术优势/平台型 布局前景可期。全球半导体设备零部件行业格局整体较为分散，根据Yole数 据，2022年行业CR10为53%，但各细分赛道内部集中度高，其中静电卡盘、 真空阀门、真空泵等被少数海外巨头垄断。以静电卡盘市场为例，该市场主要 由日本和美国等企业主导，根据QY Research数据，2021年前四大企业占据 90%以上的全球市场份额。整体看国内半导体设备关键零部件产业尚处于发展 初期，未来随着本土厂商技术实力的不断提升，叠加设备产业链国产替代进程 加速，具备技术优势的国内企业有望率先导入下游头部客户，而充分内拓外延 平台化布局的企业将具备广阔的成长空间。