北方华创深度报告：半导体设备国产龙头，平台化布局行稳致远.pdf

北方华创深度报告：半导体设备国产龙头，平台化布局行稳致远。半导体设备国产龙头，平台化布局实现多点开花。北方华创主营半导体装备、真空及锂电装备和精密电子元器件三大业务， 在半导体设备方面实现了平台化布局，具体产品包括刻蚀机、PVD、CVD、ALD、氧化/扩散炉、清洗机等多款高端半导体 工艺装备，目前已成为国内集成电路高端工艺装备领域的先进企业。

晶圆厂扩产空间可观，自主可控背景下设备国产化率有望提升。根据TechInsights的数据，2023年广义的中国芯片自给率 预计在23.3%左右，若排除外资企业在中国大陆的产值，仅考虑中国本土企业，广义的中国芯片自给率仅为12%左右，本土 晶圆厂仍存在较大的扩产空间，国产半导体设备厂商预计将在本土晶圆厂的扩产中充分受益。

ICP刻蚀国产领先，CCP刻蚀顺利突破。公司深耕ICP刻蚀技术二十余年，已实现多个客户端大批量量产并成为基线设备， 同时公司从2021年开始着力进行介质刻蚀设备的研发，已实现逻辑、存储、功率半导体等领域多个关键制程的覆盖。

PVD设备优势显著，CVD&ALD设备全面布局。公司作为中国PVD工艺装备技术的先行者，在2008年就开始了PVD设备 的研发，产品已成为多家客户的基线设备；CVD&ALD设备方面，公司实现了金属硅化物、高介电常数原子层沉积等工艺设 备的全方位覆盖，关键技术指标均达到业界领先水平。

热处理设备国内领先，清洗设备持续覆盖。热处理设备方面，公司的立式炉系列化设备在逻辑和存储工艺制程实现了全面覆 盖；清洗设备方面，公司多年来先后突破了多项清洗工艺技术，实现了槽式工艺全覆盖，并突破了高端单片工艺。