美埃科技专题报告：半导体空气过滤器壁垒深厚，美埃科技具备全球竞争力.pdf

美埃科技专题报告：半导体空气过滤器壁垒深厚，美埃科技具备全球竞争力。空气过滤器行业市场空间广阔，半导体市场壁垒深厚。根据中研网数据，预计2025年我国空气过滤器行业市场规模会达到150亿元（以 8%的增长率测算）。在洁净室 过滤器领域，主要厂商包括爱美克AAF、康菲尔Camfil、美埃科技等。洁净室指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需求进行控制的密闭性较好的空间， 按照特定的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。污染敏感零件的批量生产需要在洁净室中完成。洁净室需使用风机过滤单元（FFU） 进行空气过滤以及高架地板进行空气循环。空气中的微粒浓度越低，洁净室的洁净度越高。芯片制造的全产业链从高端半导体制造、IC 制 造、封装测试等各环节都离 不开极高洁净度空气的环境保障。空气洁净技术是半导体产业发展的重要基石和保障。随着芯片领域的技术不断突破和升级，晶圆加工的生产环境及核心设备光刻机 的运行环境对空气洁净度有着极高的要求，这也对空气净化设备厂商提出了极高的要求。

美埃科技：中国半导体空气过滤器龙头具备全球竞争力。美埃科技成立于2001 年，二十余年以来始终聚焦于半导体、生物制药、公共医疗卫生等领域的工业级超洁净 技术的研发和应用，并将这一技术进一步转化应用于商用人居和工业除尘及 VOCs 治理等细分市场。公司专利数量、产品参数、品牌声誉、市占率水平均领先国产厂 商、对标海外龙头。公司立足于中国市场，不断向东南亚等半导体新兴产业区域布局，目前已经拥有 7 个境内生产基地和2 个境外生产基地，客户覆盖中芯国际、 ST Microelectronics 等国内外半导体龙头厂商。2021 年底，公司获国家级专精特新“小巨人”企业称号，成为国内电子半导体洁净室设备龙头。

美埃科技在国内外半导体客户获得全面突破。公司以 20 多年积累的研发技术实力和客户专业工艺制程应用经验，为半导体洁净室客户提供针对性解决方案。公司自 2002 年起进入半导体洁净室领域， 2006 年至今为中芯国际(688981.SH)成都、武汉、上海、北京、天津、深圳、 宁波、江阴、绍兴等工厂供应 FFU、高效/超高效过 滤器、化学过滤器等产品， 用于保障中芯国际系的历代产品线(包括中芯国际最先进的 14nm 和 28nm 制程) 对空气洁净度的要求。同时，公司为开发国内首台 28 纳 米光刻设备的上海微电 子装备(集团)股份有限公司所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准(ISO Class 1 级)洁净环境提供 EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组)及 ULPA(超 高效过滤器)等产品，亦已验收合格，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。 此外，在海外市场，公司系 Intel、ST Microelectronics 等国际半导体厂商 的合格 供应商，为其提供空气净化产品。