微导纳米研究报告：国内ALD设备领航者，国产替代助力业绩长期向好.pdf

微导纳米研究报告：国内ALD设备领航者，国产替代助力业绩长期向好。ALD 设备龙头企业，光伏、半导体业务共同成长。公司成立于 2015 年， 核心业务为先进微纳米薄膜沉积设备的研发与应用，主要产品 ALD 设备 可广泛应用于下游光伏、半导体、柔性电子等领域，2022 年 12 月公司在 科创板上市。业绩方面，2018-2022 年，公司营收从 0.42 亿元增长到 6.85 亿元，年复合增长率为 101.0%，2023 年上半年，公司营收为 3.82 亿元， 同比增长 145.5%，公司业绩增长势头迅猛。此外，公司 IPO 募投项目预 计将新增年产 120 台光伏、柔性电子领域的 ALD 设备以及年产 40 套半导 体 ALD 设备的产能，助力公司业绩持续快速增长。

ALD 设备性能优异，国产替代空间广阔。ALD 通过脉冲前驱体化学气相 反应实现单原子层级薄膜沉积，具备精确的膜厚控制能力以及优秀的台阶 覆盖率，在光伏、半导体制造工艺中有广泛应用。光伏领域，国产 ALD 厂商已基本实现国产替代并在国际竞争中占据优势；半导体领域，目前 ALD 设备国产化率极低，国内市场主要被 ASM、TEL 等国外厂商占据， 国产替代空间广阔。

受益 N 型电池扩产，公司光伏业务有望持续高增。N 型电池加速扩产， TOPCon、HJT 等路线需求明确，薄膜沉积设备在 TOPCon、HJT 等路线 价值占比较高，上游光伏设备公司深度受益。公司率先将 ALD 设备规模 化应用于国内光伏电池产线中，拥有 ALD、PECVD、扩散退火炉以及 TOPCon 电池工艺整线等丰富的产品组合，稳居国内领先地位，且公司光 伏镀膜产品在产能、均匀性、碎片率等指标上也颇具竞争优势，与国内头 部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，得到了客户的广泛认可。随着新一 代太阳能电池技术扩产节奏逐渐进入白热化阶段，对光伏 ALD 设备的需 求旺盛，公司光伏业务将持续受益。