华海清科研究报告:纳米世界雕饰家,先进制程国产化从CMP突破.pdf

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  • 时间:2023/08/18
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华海清科研究报告:纳米世界雕饰家,先进制程国产化从CMP突破。Table_Summary] 华海清科成立于 2013 年,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备,是国 内为集成电路制造商提供 12 英寸 CMP 商业机型的高端半导体设备制造 商,拥有自主研发的核心技术。多种产品广泛应用于中芯国际、长江存 储、华虹集团、英特尔、长鑫存储等国内外先进集成电路制造商的大生 产线中,覆盖逻辑、存储、先进封装等领域。

需求端:国产化进程加速,多应用领域驱动 CMP 设备快速放量。CMP 设备作为半导体制造的核心设备,通过化学机械研磨技术,实现各种复 杂环境下的平坦化。在硅片制造、集成电路制造以及先进封装领域,随 着芯片制程不断提高,芯片结构越发复杂,CMP 工艺次数不断提高,带 来广阔的市场空间。在国产化进程下,国内晶圆厂扩产速度不减,相关 半导体设备空间巨大,国产设备厂商有更好的导入机会。

供给端:打破应用材料与日本荏原垄断,国产厂商快速崛起。全球 CMP 设备市场 80%以上份额由应用材料和日本荏原占据,高端制程更是完全 垄断。国内先进制程同样被应用材料和日本荏原占据,华海清科在成熟 制程正快速崛起,目前按照营收占据国内约 30%市场份额。从产品性能 来看,华海清科在 28nm 及以上制程可完全替代海外厂商,14nm 正在验 证中,尚处追赶阶段。同时募投项目有望助力公司扩展产品线,加快研 发成果产业化,抢占国内集成电路装备市场。

增长逻辑:国产替代下,CMP 环节纵深发展,晶圆再生外延开拓。 公司抓住国产替代的东风,持续投入 CMP 设备产业化与新技术的研 发,积极打入各大晶圆厂,引领 CMP 设备国产化。伴随 CMP 设备快 速放量,抛光头等关键配套材料为公司带来持续营收。公司积极开拓 晶圆再生业务,发挥自身技术与产品优势,构建营收新渠道。

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