拓荆科技研究报告：国产薄膜沉积设备龙头，步入成长快车道.pdf

上传者：方*
时间：2023/06/29
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拓荆科技研究报告：国产薄膜沉积设备龙头，步入成长快车道。国内薄膜沉积设备龙头，布局三大产品系列。公司立足薄膜设备积极布局多元化产品系列，产品包括 PECVD、ALD 和 SACVD 设备，下游客户覆盖中芯国际、华虹集团、长江存储等国内一线逻辑、存储及功率等晶圆厂商。公司 2022 年营收同比增长 125.02%至 17.06 亿元，2017-2022 年营收年均复合增速达 57.6%。

PECVD 设备：公司核心产品，产业化持续推进。公司深耕薄膜设备近十余年，形成了覆盖全系列 PECVD 薄膜材料的设备，目前是国内唯一一家产业化应用的集成电路 PECVD 设备厂商，产品广泛应用于逻辑、DRAM、3D NAND 及先进封装领域，设备本土主要产线覆盖率超 15%，公司持续扩大产品应用领域，产品市占率持续提升。

SACVD 设备：产业化应用和国产替代先锋。公司系国内外 SACVD 设备稀缺标的，产品性能对标国际一线大厂应用材料，已覆盖长江存储、华虹集团以及上海积塔等客户，主要产线设备覆盖率超 25%，随着公司积极开拓国内外市场，后续将打开成长空间。

ALD 设备：市场规模持续增长，有望成为新增长亮点。受益于先进制程持续推进，市场对 ALD 设备需求加速增长。根据 Acumen research and condulting，由于半导体先进制程产线数量增加，预计 2026 年全球 ALD 设备市场规模达到 32 亿美元，高价值新品布局及放量有望成为后续一大亮点。