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中科飞测研究报告：半导体检测量测设备国产替代引领者，高速成长正当时。专注半导体质量控制设备，业绩快速成长。公司专注于半导体检测和量测两大类专用设备， 其中检测设备营收占比 75.5%，量测设备营收占比 23.1%，均已应用于国内 28nm 及以上 制程的集成电路制造产线。2022 年公司营收达 5.09 亿元，同比增长 41.24%，2018-2022 年营业收入 CAGR 为 103.23%；2022 年公司整体毛利率 48.67%，较 2018 年增长 25pcts。 技术优势驱动公司实现业绩及盈利能力爆发式增长。

检测量测是半导体产业链重要环节，受益下游晶圆厂持续扩产。检测量测设备作为质量控 制环节伴随半导体前道和先进封装的多个工艺环节，是半导体设备中的重要组成部分，根 据 SEMI 统计，检测量测设备约占半导体产业链价值量 11%，仅次于刻蚀机、光刻机、薄 膜沉积设备。伴随中芯国际等国内晶圆厂商保持扩产趋势，包括中科飞测在内的检测量测 设备厂商将持续受益。

公司在国产检测量测厂商中市场份额最领先，引领国产替代。截至 2020 年，科磊占据国 内检测量测设备市占率超 50%，国内检测量测设备市场国产化率低于 3%，其中，中科飞 测市占率 1.74%大幅领先国内同业。当前中科飞测检测设备已与国际龙头科磊、创新科技 性能相当，量测设备重复性精度亦达国际龙头帕克公司水平，中科飞测产品已在中芯国际、 长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等晶圆制造厂商的产线上实现广泛 应用。

公司注重研发投入，研发成果转化潜力巨大。2022 年，公司研发费用率达 40%，远高于 行业平均水平，当前公司共有研发人员 324 人，占公司员工人数 43%；截至 2022 年中， 公司共计 14 个研发项目中 10 个项目受到了政府补助，覆盖率达到 71.4%，补助金额达研 发投入 32.45%，高研发投入模式具有可持续性。目前公司已有 10 个项目开启产业化验证， 预计未来两年将陆续实现量产转化为公司业绩。