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中科飞测（688361）研究报告：国产半导体量测设备龙头，引领瓶颈环节国产替代。中科飞测是国产半导体量测设备龙头，相关量测设备已应用于国 内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线，所产主流机型成功填补 国内空白，广泛应用于中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科 技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破国 际巨头在质量设备领域对国内的长期垄断。公司检测设备自 2017 年通过下游知名客户验证后，产品迅速获得市场广泛认可，客户、 设备销量的快速增长，2019-2021 年度实现设备销售数量分别为 32 台、101 台和 108 台，销售数量稳步增长。

半导体量检测设备是芯片良率重要保障，全球市场规模超百亿 美元：半导体量测设备贯穿芯片制造的各个环节，是芯片良率的 重要保障。从市场规模来看，全球前道量检测设备 2021 年市场规 模 114 亿美元，在前道设备中市场规模仅次于光刻机、薄膜沉积 和刻蚀设备。

海外巨头垄断前道量检测设备：根据 semi 数据统计，2020 年 全球量测设备市场上，KLA 市占率 51%，应用材料市占率 12%，日 立科技市占率 9%，行业前五大公司合计市场份额占比超过了 80%，全球市场高度集中。从国内市场来看，目前国内市场国产化 率较低，2020 年我国半导体前道量测检测设备国产化率约为 2%， 国产替代空间巨大。

量检测设备国产替代持续推进，潜力巨大；目前来看，国内在 前道量检测设备已经实现了部分产品的突破，其中上海睿励主要 聚焦于薄膜测量和尺寸光学检测设备；上海精测在膜厚产品、电 子束、OCD 量测等设备产品和相关技术实现了技术突破；中科飞 测在无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形 貌量测设备系列具备较强竞争力，并获得了中芯国际、长电科技、 长江存储等国内龙头客户订单，填补了国内量测设备市场的关键 空缺领域。