中科飞测（688361）研究报告：国内检测和量测设备龙头，国产替代空间广阔.pdf

中科飞测（688361）研究报告：国内检测和量测设备龙头，国产替代空间广阔。国内检测和量测专用设备龙头，产品已用于国内集成电路制造产线：中科 飞测公司成立于 2014 年12 月，2023 年 5 月 19 日在上交所科创板上市， 总部位于广东深圳。公司是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自 成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和 销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设 备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，其中检 测设备的销售收入占公司主营业务收入的 75%以上。公司产品用于集成电 路前道制程和先进封装领域，客户覆盖集成电路前道制程、先进封装企业， 以及相关设备、材料企业，已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、 长电科技、华天科技等国内主流集成电路制造产线。公司核心技术人员产 业背景深厚，背靠中科院，董事长陈鲁大学毕业于中国科学技术大学少年 班物理学专业，曾任科磊半导体资深科学家以及中科院微电子所研究员、 博士生导师。得益于国内半导体行业的快速发展，以及公司核心技术的不 断突破和产品种类的日趋丰富，公司市场认可度稳步提升，客户群体和客 户订单持续增长，公司近三年营业收入的 CAGR 为 46.4%，但归母净利 润波动较大，主要是部分重点研发项目投入相对较大以及现阶段规模效应 尚未充分体现。

国内自主可控需求迫在眉睫，国产替代空间广阔：质量控制贯穿集成电路 制造全过程，是保证芯片生产良品率非常关键的环节。根据 VLSI Research 的统计，2020 年半导体检测和量测设备市场各类设备占比中，检测设备 占比为 62.6%，包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、 掩膜检测设备等；量测设备占比为 33.5%，包括三维形貌量测设备、薄膜 膜厚量测设备、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。 根据 Gartner 数据，2021 年全球质量检测设备市场规模 104.1 亿美元， 预计 2026 年市场规模 116.6 亿美元，2022 年在整个晶圆制造设备市场中 的占比预计为 12%。目前，全球和中国半导体检测和量测设备市场也呈现 国外美日设备企业垄断的格局，尤其是科磊一家独大，市场份额超 50%。 与国外企业相比，本土企业进入该领域时间较晚，整体实力和规模与国外 竞争对手存在较大差距。然而，经过多年来的不懈追赶，本土企业技术水平不断提高，国产化设备在部分领域实现了从无到有的突破，相关产品得到下游客户的积极认可。国产企业除了中科飞测 之外，主要代表企业还有上海睿励、上海精测、赛腾股份等。